项目名称	气体辅助系统	项目编号	JJ23000638
公告开始日期	2023-09-07 02:27:03	公告截止日期	2023-09-10 01:00:00
采购单位	东北大学	付款方式	货到付款
联系人	登录后可见	联系电话	登录后可见
签约时间要求	成交后3个工作日内	到货时间要求	签约后3个工作日内
预算总价	￥ 355000.00 + NaN + NaN
发票要求	增值税普通发票 增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址	东北大学和平区文化路3巷
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明

采购清单1

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
气体辅助系统含氮气气架阀件探头以及C4F8气架阀门等	1	套	真空系统附件 无 无

品牌 品牌1	Valex
型号	SS316L EP 1/4
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价	￥ 355000.00
技术参数及配置要求	①C4F8 系统 ？在腐蚀气体间新增单瓶C4F8气架--新增气体分配盘（C4F8-VMP-1进4出）--到使用设备接口； ？单瓶气架/VMP包含：钢瓶接头（罗达莱克斯），减压阀（APTECH)，隔膜阀（KITZ），过滤器（PALL）等阀件。 ？管道/阀门材质：采用单管 SS316L EP 1/4”（品牌：Valex)； ？管道连接采用自动焊接方式or VCR 连接； ？工作压力:气架出口0- 7kg/cm2（可调） ？VMB出口0-4 kg/cm2 （可调） ？系统测试：保压、氦检.水份，氧份，颗粒测试（见测试规格表）。 ②辅助气架系统 ？在腐蚀气体间及易燃易爆气体间新增双瓶HGN2+PN2双工艺瓶辅助气架--各个GC辅助气接口； (1)NF3+HCL+HBR气柜和HI+HF气柜新增1套辅助双工艺瓶气架。 ？双瓶气架包含：钢瓶接头（罗达莱克斯），减压阀（APTECH)，隔膜阀（KITZ），等阀件。 ？管道/阀门材质：采用单管 SS316L EP 1/4”（品牌：Valex)； ？管道连接采用自动焊接方式or VCR 连接； ？工作压力:气架出口0- 12kg/cm2（可调） ？系统测试：保压、氦检.水份，氧份，颗粒测试（见测试规格表）。 (2)CL2气柜新增1套辅助双工艺瓶气架。 ？双瓶气架包含：钢瓶接头（罗达莱克斯），减压阀（APTECH)，隔膜阀（KITZ），等阀件。 ？管道/阀门材质：采用单管 SS316L EP 1/4”（品牌：Valex)； ？管道连接采用自动焊接方式or VCR 连接； ？工作压力:气架出口0- 12kg/cm2（可调） ？系统测试：保压、氦检.水份，氧份，颗粒测试（见测试规格表）。 (3)SIH4气柜和PH3+H2气柜新增1套辅助双工艺瓶气架。 ？双瓶气架包含：钢瓶接头（罗达莱克斯），减压阀（APTECH)，隔膜阀（KITZ），等阀件。 ？管道/阀门材质：采用单管 SS316L EP 1/4”（品牌：Valex)； ？管道连接采用自动焊接方式or VCR 连接； ？工作压力:气架出口0- 12kg/cm2（可调） ？系统测试：保压、氦检.水份，氧份，颗粒测试（见测试规格表）。 (4)气柜新增1套辅助双工艺瓶气架。 ？双瓶气架包含：钢瓶接头（罗达莱克斯），减压阀（APTECH)，隔膜阀（KITZ），等阀件。 ？管道/阀门材质：采用单管 SS316L EP 1/4”（品牌：Valex)； ？管道连接采用自动焊接方式or VCR 连接； ？工作压力:气架出口0- 12kg/cm2（可调） ？系统测试：保压、氦检.水份，氧份，颗粒测试（见测试规格表）。 投标报价需联系老师
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售后服务

东北大学
2023-09-07 02:27:03