项目名称：华东师范大学等离子体化学气相沉积（PECVD）、等离子增强原子层沉积系统、高分辨X射线衍射仪等设备采购项目
项目编号：1069-224Z20223841/01
招标范围：本包件为包件一：等离子体化学气相沉积（PECVD） 本项目采购内容分为六个包件，投标人可对下述任一个包件或多个包件进行投标，具体如下： 包件一： 等离子体化学气相沉积（PECVD） 包件二： 等离子增强原子层沉积系统 包件三： 高分辨率X-射线衍射仪 包件四： 磁控溅射镀膜系统、电子束蒸发镀膜系统 包件五： 半导体综合测试系统-变温真空探针台 包件六： 台式微纳结构高速直写系统
招标机构：上海中世建设咨询有限公司
招标人：华东师范大学
开标时间：2022-12-08 10:00
公示时间：2022-12-09 18:12 - 2022-12-14 23:59
中标结果公告时间：2022-12-15 13:02
中标人：Cycas？Microelectronics？Co.,Ltd
制造商：Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited, trading as Oxford Instruments Plasma Technology
制造商国家或地区：英国