天津大学 - 竞价公告 (CB100562023000362)
发布时间：2023-06-12 11:39:49 截止时间：2023-06-14 11:00:00
基本信息：
申购主题：真空泵组
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：天津市/市辖区/南开区/****
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/计量单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

真空泵组

1

定制

定制

*1. 真空泵组须按矽基超高真空磁控溅射与电子束蒸发联合镀膜系统（型号: ASB-SEL-C04）的图纸要求设计制作，包含定制连接组件，能适配该系统安装。 *2. 泵组包含如下核心组件： (1) 冷泵泵组，包含：冷泵（品牌：ULVAC，型号：U8H）及前级干泵（品牌：Kashiyama，型号：NeoDry 30E），用于超高真空磁控溅射腔体。 (2) 分子泵泵组1，包含：分子泵（品牌：LEYBOLD，型号：TURBOVAC 950 i）及前级干泵（Kashiyama，型号：NeoDry 30E），用于超高真空电子束蒸发镀膜腔体。 (3) 分子泵泵组2，包含：分子泵（品牌：Leybold，型号：TURBOVAC 450 i），用于预真空室。 3. 冷泵泵组技术参数要求： (1) 干泵抽气速度不低于20m3/h,接口尺寸为DN 25 ISO-KF,噪音值须< 55 dB(A), 极限压力下的功耗：260 W。 (2) 冷泵对N2抽气速度不低于1700 l/s,对水不低于4000l/s，须具备2段式GM冷冻机，法兰接口以CF TYPE提供，冷却下降时间100min，维护周期≥16,000小时，冷泵搭配的压缩机≥油吸附器更换周期：24,000小时。 *(3) 抽气系统管路需与设备自带的自动粗抽阀及自动前级阀做配接。 *(4) 冷泵需与腔体自带的手动控制金属密封闸板阀做配接。 *(5) 需与设备的控制系统做链接，透过设备控制系统操作及测试泵之真空能力。 4. 分子泵泵组1技术参数要求： (1) 干泵抽气速度不低于20m3/h,接口尺寸为DN 25 ISO-KF,噪音值须< 55 dB(A), 极限压力下的功耗：260 W。 (2) 分子泵对N2抽气速度不低于900 l/s，对N2的压缩比不低于 1*10^11，法兰接口以CF TYPE提供。 *(3) 抽气系统管路需与设备自带的自动粗抽阀及自动前级阀做配接。 *(4) 分子泵需与腔体自带的自动控制金属密封闸板阀做配接。 *(5) 需与设备的控制系统做链接，透过设备控制系统操作及测试泵之真空能力。 5. 分子泵泵组2技术参数要求： (1)分子泵对N2抽气速度不低于430 l/s，对N2的压缩比不低于 1*10^11，法兰接口以ISO TYPE提供。 *(2)抽气系统管路需与设备自带的自动粗抽阀及自动前级阀做配接。 *(3)分子泵需与腔体自带的自动控制闸板阀做配接。 *(4)需与设备的控制系统做链接，透过设备控制系统操作及测试泵之真空能力。

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）