一、项目信息
项目名称：双靶磁控溅射仪采购
管理部门：实验室建设与设备管理处
项目编码：AXF202301434
采购方式：自行采购
二、采购单位信息
采购单位名称：西南大学
采购单位地址：重庆市北碚区天生路2号
联系人：卢明
三、成交信息
成交日期：2023-11-14
成交金额：199500.00元(人民币)
成交供应商：重庆杉辉仪器仪表有限公司
供应商联系地址：重庆市北碚区天生路79号附1号703号
四、采购小组成员名单
肖航
五、项目用途及合同履行日期
项目用途：科研
合同履行日期：合同签订即日起
六、主要标的信息

序号	品目	商品名称	数量	计量单位	单价	型号	规格/详细参数	是否进口	品牌	产地	生产厂商
1	其他试验仪器及装置	双靶磁控溅射仪	1	套	199,500	VTC-600-2HD	1、电源电压：220V 50Hz 2、功率：900W 3、腔体内径：Ø300mm 4、极限真空度：9.0×10-4Pa 5、样品台加热温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度） 6、靶枪数量：2个（可选配其他数量） 7、靶枪冷却方式：水冷 8、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同） 9、直流溅射功率：500W；射频溅射功率：300W。（靶电源种类可选，可选择两个直流电源，也可选择两个射频电源，或选则一个直流一个射频电源） 10、载样台：Ø140mm，可根据客户需求选配加装偏压功能，以实现更高质量的镀膜。 11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调 12、工作气体：Ar等惰性气体 13、进气气路：质量流量计控制2路进气，一路为100SCCM，另一路为200SCCM 1、主机尺寸：500mm×560mm×660mm 2、整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm 3、真空室规格：φ300×300mm 配置清单 主机：VTC-600-2HD，1台 分子泵：1台 双层旋转镀膜夹具（2023-085）：1套 膜厚显示仪：TM108A ，1个 石英晶片：6MHz，5个 直流电源：DC-500，1个 射频电源（含匹配器）：PGM-300，1个 膜厚监测仪：EQ-TM106，1台 冷水机：KJ-5000，1台 减径直通：APG8-6 8-6，1个 减径直通：APG10-06 10-6，1个 不锈钢卡圈卡环：φ6 不锈钢卡圈卡环一套，2个 内六角扳手：2.5 L型，1个 内六角扳手：3 L型，1个 内六角扳手：4 L型，1个 螺丝刀：5*75 十字，1个 聚酯PU管：外径6 内径4 蓝，4m 真空硅脂：1个 锁扣式夹板箱：1050*950*1000，1个 锁扣式夹板箱：930*790*590，1个	否	科晶	中国	科晶

七、其他补充事宜
无
附件：
无