清华大学多组分介电材料薄膜沉积系统采购项目单一来源公示

一、采购人：清华大学

二、地址：北京市海淀区清华园

三、联系方式：王琦sbcwq@tsinghua.edu.cn

四、项目名称：多组分介电材料薄膜沉积系统采购项目

项目编号：清设招第2022595号

五、采购内容：多组分介电材料薄膜沉积系统

六、采用单一来源采购方式原因及说明

中科泰龙电子科技有限公司的SPutter-150LL在满足基础技术参数需求的

基础上，是唯一可以按照实验中心要求定制增加等离子清洗腔室的设备，包括

定制反应腔的尺寸、真空系统控制阀的数量和参数，故采用单一来源采购。

七、基本配置和技术要求：

(1)样品基台：6英寸及以下尺寸兼容

(2)反应腔室：304不锈钢材质

(3)传输腔室：6061铝，阳极氧化，机械手自动传输

(4) 预清洗腔：6061铝，阳极氧化，射频等离子清洗方式@13.56MHz

(5)靶座系统：3英寸圆形靶座4个，位于腔室底部，由下向上溅射，高度调

节范围±25mm，安装调节

(6)真空系统：分子泵，机械泵

(7)真空测量：工艺规（进口），全量程规（进口）

(8)气路系统：标配2路进气，种类和流量可定制；管路配件（进口）

(9)电源系统：500W直流电源2套（进口），不低于500W射频电源2套

(10)样品载台：自转旋转5-30rpm可调；

(11)加热温度：≥600℃

(12)真空性能：极限真空优于6.6×10-5Pa

(13)控制系统：工控机；触摸屏，菜单自动/手动操作

(14)安全控制：异常报警

(15)工艺应用：金属薄膜和介质薄膜沉积

(16)不均匀性：片内≤±5%@6英寸，片间≤±5%

(17)设备尺寸：一体型设备；占地面价（参考）1.0m*1.80m

(18)加热温度：≥600℃

八、制造商：北京中科泰龙电子技术有限公司

地址：北京市朝阳区北土城西路3号

九、征求意见期限从2022年11月21日至2022年11月24日止。十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后1个工作日内将书面意见(包括：供应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明)反馈至清华大学(联系人：王琦62771946，邮箱：sbcwq@tsinghua.edu.cn)。