南京工业大学高真空磁控溅射镀膜仪单一来源采购公示

一、采购人：南京工业大学

二、采购项目：高真空磁控溅射镀膜仪1套

三、采购项目编号：2019048324

四、采购项目预算：65万元

五、采用单一来源采购方式的原因及相关说明：

根据材料科学与工程学院学科建设发展规划，拟采购高真空磁控溅射镀膜设备一台，用于高通量制备高熵薄膜以及形状复杂样件表面涂层，该设备为非标设备，功能实现及结构方式存在独特性和单一性。结合实际功能需要，与多家设备供应调研沟通后，仅有沈阳科友真空技术有限公司（下称沈阳科友）能满足设备的功能需求，具体原因如下：

1、该设备要求能够实现一次制备200种以上不同成分样品，经调研，仅有沈阳科友具有成熟的高通量制备技术，完全满足我们的高通量制备需求，并能保证终生售后服务。

2、该设备要求能够消除复杂外形产品镀膜时的阴影区，满足不同种类形状产品的镀膜要求，经调研，仅有沈阳科友独有的“回旋式磁控溅射镀膜技术”能够满足此项要求。

3、该设备要求实现极限真空5×10^-5 Pa该公司在真空方面最高可实现极限真空5×10^-6 Pa，性能更优。

4、该设备要求分别实现多元合金与陶瓷薄膜的可控制备，仅有该公司可以满足此项要求。

5、该设备要求可有效进行交替沉积镀膜和共沉积镀膜，实现不同单层厚度多层膜制备，膜层均匀，最小单层厚度可达0.5nm，设备工作稳定可靠，经调研也仅有该公司可以满足此项要求。

综上所述，当前采购的高真空磁控溅射设备为非标设备，功能实现及结构方式存在独特性和单一性，经前期调研，仅有沈阳科友真空技术有限公司提供的设备能满足实验要求，特申请单一来源采购。

六、拟定的唯一供应商名称及地址：

供应商名称：沈阳科友真空技术有限公司

地址：沈阳市苏家屯区沙河铺镇鲍家村

七、专家论证：

专家论证意见：论证合理，同意单一来源采购。

参与论证专家名单：

专家姓名 所在单位 职称/职务

夏奕东 南京大学 教授

陆海鸣 南京大学 副教授

徐波 中国药科大学 副教授

八、公示期限：

公示期为2019年10月24日至2019年10月30日。任何供应商、单位或个人对本次公示有异议的，请于公示期内提交书面质疑函给采购人。

九、联系事项：

联系地址：南京市江北新区浦珠南路30号行政楼335室；

联系人：孟老师；

联系电话：025-58139230

邮箱：20053@njtech.edu.cn。

南京工业大学招投标管理中心

2019年10月23日