公示简要情况说明：  
一、  采购人名称： 浙江理工大学           
二、  进口产品公示编号： importedProduct2023111540166940    
三、  采购项目名称： 探针式表面轮廓仪     
四、  采购组织类型：    
五、  采购项目概况：
        
 标的名称：   探针式表面轮廓仪     
 预算金额(元)：   552000     
 数量：   1     
 单位:    套     
 货物或服务的说明:    略      
六、  符合上述采购要求的进口产品产地、品牌（一家及以上）：

序号	品牌/厂家	产地
1	BRUKER	德国
2	KLA	美国

 
七、  申请理由： 机械工程学院精密测量技术课题组承担“机械工程”省重点建设高校优势特色学科中智能制造精密测量技术及微纳米零部件表面形貌测量方法的科学研究，需要购买1套探针式表面轮廓仪，用于研究集成芯片和微纳器件加工误差与缺陷的产生机理，验证所研制测量系统的分辨率和测量精度等指标。对比了国产探针式表面轮廓仪及进口探针式表面轮廓仪，国产仪器多为低分辨率和低精度轮廓仪，不满足探针三维扫描和多点自动测量功能要求，部分应用场景受限，无法满足高精度的微纳米台阶高度测量需求以及服务科研需求。                          
八、  论证专业人员信息及意见： 

专业人员姓名	专家人员职称	专业人员工作单位
吴华平	教授	浙江工业大学
包福兵	教授	中国计量大学
孔明	教授	中国计量大学
王文	教授	杭州电子科技大学
纪华伟	教授	杭州电子科技大学

  
专业人员对进口产品技术性能先进性、采购必要性的论证意见：      2023年10月16日，浙江理工大学组织有关专家召开了该探针式表面轮廓仪购置论证会，与会专家听取了申购人报告，并进行了质询和讨论，形成了如下意见： 探针式表面轮廓仪是测量芯片加工尺寸、MEMS表面形貌和微纳器件台阶高度等参数所需的关键仪器，可用于集成芯片和微纳器件加工误差与缺陷产生机理的科学研究和相关测量系统的研制与测试，同时可用于机械制造设计及自动化、测控技术与仪器、智能制造工程等本科生以及用于机械、测试和自动化等专业硕博研究生的实验教学和科学研究，应用范围广泛。 鉴于单位实际需求，国产产品无法满足需要，建议购置进口产品。 
九、  其它事项：
 1、本项目公告期限为3个工作日，供应商对该项目拟采购进口产品及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第4个工作日），以书面形式向采购人及同级财政监管部门提出异议。
 2、其他事项 
    
  
十、  联系方式：
1、 采购人名称：浙江理工大学   
联系人： 俞老师    
联系电话：0571-86843939 
传真： 0571-86843156   
地址： 浙江理工大学后勤综合大楼501室 
2、 同级政府采购监督管理部门名称：   
联系人： 冯华/马瑞敏    
监管部门电话： 0571-87055741    
传真：  0571-87056984  
地址： 杭州市环城西路37号    
附件信息:
进口产品申请核准表.pdf
573.8 KB