采购结果详细（202301300269）---- 深圳清华大学研究院

申购单主题：	气相沉积系统CVD管式炉;晶体生长CVD系统管式炉;化学气相沉积CVD系统管式炉	申购单位：	深圳超滑技术研究所
申购备注：	中标商必须开具增值税专用发票

设备名称			品牌	型号	数量	报价类型
气相沉积系统CVD管式炉			合肥科晶	TF-1700X-III-80*CVD	1	国内含税价/人民币
售后服务	付款方式：合同签订后支付50%，验收支付50%。
规格	1：▲ 最高温度：1700℃（＜1h） 温区 1: 长期 1300C (1400C<1h) 建议升温速率: ≤5Cmin 温区 2:长期 1600C(1700C<1h) ( T< 1600c); 2C/ min ( T>1600C)温区3:长期 1300C (1400C<1h) 建议升温速率:5°C/ min 建议升温速率:≤5C 加热区长度: 630mm (三温区: 190mm+250mm+190mm),热偶: B型(温区 2) 和S型(温区 1、3) 热偶,电源:三相 AC380V，50Hz.最大10KW 4* 配置不少于1对 ss304 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封 5▲真空系统• 208-240VAC, 单相, 50/60Hz，压力恒定控制系统 6• 配置恒定控制系统，其范围(进气气氛为氩气)： 760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照进气量为 500sccm）； 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为 300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为 100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为 50sccm7 9 压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40） ＞10 torr------200torr（±%5） 8；4路供气系统，量程为甲烷 20 氢气 200 氩气 1000，备用的用氮气调500氮气标定精度：±1.5%FS；线性：±(0.5～1.5)%F.S. 重复精度：±0.2%F.S 9；*尾气过滤系统，干湿处理，气管不少5米 质保期 一年质保期，终身维护，售后服务：有专业安装培训工程师，中标后3天内供货，24小时内上门安装培训；质保期1年；供货商出具厂家盖章售后承诺函； 配置：高温炉1台；测温偶3根；炉管1根；高温手套1副；管堵4个;炉钩L：1000mm 1把 ;;内六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;法兰Φ80 1套 ，硅胶密封圈 内径Φ70,8个；炉管护套1副；法兰Φ60一套 ，质子系统1台；恒压控制系统 1台 水机冷机1套 。说明书1本。
中标供应商			单价		初选理由
广州市安恒科学仪器有限公司			130000		最低价原则

设备名称			品牌	型号	数量	报价类型
晶体生长CVD系统管式炉			合肥科晶	TF-1700X-80*CVD	1	国内含税价/人民币
售后服务	付款方式：合同签订后支付50%，验收支付50%。
规格	1：▲额定功率：5.5KW · 额定电压：AC220V 50/60HZ · 额定使用温度：1650℃ · 最高使用温度：1700℃（≤0.5h） · 建议升温速率：1400℃以下：≤10℃/min ；1400℃到 1600℃：≤5℃ /min；1600℃以后：≤2℃/min。 · 加热元件：硅钼棒 · 热电偶：B 型,炉腔尺寸：290mm * 220mm * 160mm； 4* 配置不少于1对 ss304 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封 5▲真空系统• 208-240VAC, 单相, 50/60Hz，压力恒定控制系统 6• 配置恒定控制系统，其范围(进气气氛为氩气)： 760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照进气量为 500sccm）； 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为 300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为 100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为 50sccm7 9 压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40） ＞10 torr------200torr（±%5） 8；4路供气系统，量程为甲烷 20 氢气 200 氩气 1000，备用的用氮气调500氮气标定精度：±1.5%FS；线性：±(0.5～1.5)%F.S. 重复精度：±0.2%F.S 9；*尾气过滤系统，干湿处理，气管不少5米 质保期 一年质保期，终身维护，售后服务：有专业安装培训工程师，中标后3天内供货，24小时内上门安装培训；质保期1年；供货商出具厂家盖章售后承诺函； 配置：高温炉1台；测温偶1根；炉管1根；高温手套1副；管堵4个;炉钩L：1000mm 1把 ;;内六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;法兰Φ80 1套 ，硅胶密封圈 内径Φ70,8个；炉管护套1副；法兰Φ60一套 ，质子系统1台；恒压控制系统 1台 水机冷机1套 。说明书1本。
中标供应商			单价		初选理由
广州市安恒科学仪器有限公司			108000		最低价原则

设备名称			品牌	型号	数量	报价类型
化学气相沉积CVD系统管式炉			合肥科晶	TF-1700X-60*CVD	1	国内含税价/人民币
售后服务	付款方式：合同签订后支付50%，验收支付50%。
规格	1、▲ 最高使用温度：1700℃（≤0.5h） ·额定使用温度：1650℃ 建议升温速率：1400℃以下：≤10℃/min ；1400℃到 1600℃：≤5℃ /min；1600℃以后：≤2℃/min。 额定电压：AC220V 50/60HZ 额定功率：5.5KW 炉腔尺寸：290mm * 220mm * 160mm 4* 配置不少于1对 ss304 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封 5▲真空系统• 208-240VAC, 单相, 50/60Hz，压力恒定控制系统 6• 配置恒定控制系统，其范围(进气气氛为氩气)： 760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照进气量为 500sccm）； 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为 300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为 100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为 50sccm） 7、压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40） ＞10 torr------200torr（±%5） 8、4路供气系统，量程为甲烷 20 氢气 200 氩气 1000，备用的用氮气调500氮气标定精度：±1.5%FS；线性：±(0.5～1.5)%F.S. 重复精度：±0.2%F.S 9、*尾气过滤系统，干湿处理，气管不少5米 质保期 一年质保期，终身维护，售后服务：有专业安装培训工程师，中标后3天内供货，24小时内上门安装培训；质保期1年；供货商出具厂家盖章售后承诺函； 配置：高温炉1台；测温偶1根；炉管1根；高温手套1副；管堵4个;炉钩L：1000mm 1把 ;;内六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;硅胶密封圈 内径Φ50,8个；炉管护套1副；法兰Φ60一套 ，质子系统1台；恒压控制系统 1台 水机冷机1套 。说明书1本。
中标供应商			单价		初选理由
广州市安恒科学仪器有限公司			104000		最低价原则