放电腔盖板下薄片 件 5 吸极绝缘柱 件 10 流量计 个 1 腔体加热贴膜 块 5 低频磁控管 件 1 热电偶 个 1 blocker(6寸SIO2) 个 1 石英紫外灯 件 2 磷酸槽盖板 个 2 变压器 件 1 NIKON显微镜减光片 个 1 NIKON显微镜滤光片 个 2 真空计 个 1 清洗盘真空单元组件 个 1 盖板 个 30 聚四氟乙烯电线 米 60 腔体门封圈（原厂件） 个 1 levelingbar 个 2 阀ISO 个 1 总线控制器（含烧程序） 个 1 坩埚冷却水连接管 件 1 特氟龙垫片 个 30 SIN小喷头 件 1 6寸石英环 个 1 Filament Shield 灯丝屏蔽板 个 4 Arc Chamber Top Plate 上盖板 个 2 Arc Chamber Side Plate 侧板 个 6 PAD, PICK?Handle上小垫片 个 10 PLATE,MOUNTING,SUPPRE 个 5 分析磁场长石墨 个 3 水过滤器 件 2 6寸前置承片盘弹簧 个 200 6004轴承 个 12 温度放大器 个 1 流量计 个 2 硅电极 件 2 Lamp,100OW,120VAC 件 1