采购项目名称：特殊气体气路设计及加工服务
采购项目编号：清设比选20232080号
对外联系人：封贝贝
联系电话：18810830359
采购单位：清华大学
物资名称：特殊气体气路设计及加工服务
采购数量：1
计量单位：套
技术参数及配置要求：需要现场进行安装的设备包括：SI500 ICP刻蚀机、CS070SA气体净化装置、JA-27冷水机和8个工艺气体气瓶。
1. PCW工艺冷却水
包括两路工艺冷却水，管径尺寸为12mm，流量分别为6LPM和3LPM，管路压力为2-4bar，接头形式G3/8''，材质要求为软管，1路接主机，1路接前级干泵。
2. 常规气体
(1). CDA压缩空气：流量20LPM，压力5-7bar，材质为6mmPU软管，接头形式为压接，无油无水；
(2). GN2普通氮气：流量67LPM，压力5bar，材质为6mm电抛光不锈钢，接头形式为压接；
(3). He：流量1LPM，压力2bar，材质为6mmPU软管，接头形式为压接，背氦冷却用，5N以上；
3. 工艺气体
(1). SF6: 流量0.5LPM；(2). C4F8: 流量0.2LPM；(3).CHF3: 流量0.1LPM；(4).O2：0.1LPM；(5).CF4：0.1LPM；(6). Ar:0.5LPM。
以上6路气体压力均为1-2bar，材质为6mm电抛光不锈钢，接头形式为SS-4-VCR。
本项目包含以上2路工艺冷却水，3路常规气体、6路工艺气体的设计、安装、运行调试所需现场连接材料，包括不锈钢管、不锈钢三通、不锈钢接头、垫片以及固定管路的配件；以及6路工艺气体系统气体减压气盘。
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