中标
HW2020000117离子束辅助磁控溅射机竞价项目
金额
19.6万元
项目地址
-
发布时间
2020/04/27
公告摘要
公告正文
HW2020000117离子束辅助磁控溅射机竞价项目
一、采购需求信息
项目号 | HW2020000117 | ||||||||||||||||||
设备品目类别 | 仪器设备 | 设备用途 | 科研 | ||||||||||||||||
竞价开始时间 | 2020-04-21 10:51:26 | 竞价结束时间 | 2020-04-27 10:52:00 |
离子束辅助磁控溅射机
商品名称 | 离子束辅助磁控溅射机 | 商品品牌或生产厂家 | 沈阳麦科诺科技有限公司 | ||||||||||||||||
型号 | IBVTC450 | 数量 | 1 | ||||||||||||||||
计量单位 | 个 | 成交单价 | 196000.00 元 | ||||||||||||||||
成交供应商 | 沈阳麦科诺科技有限公司 | 保修年限 | 1年 | ||||||||||||||||
技术指标 | 溅射室极限真空度:≤5.0x10-5Pa(经烘烤除气后); 系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系统从大气开始抽气:溅射室25-30分钟可达到6.6x10-4 Pa; 系统停泵关机12小时后真空度:≤5Pa; | ||||||||||||||||||
安装及售后要求 | 设备安装条件要求 1、供电电源:三相380V,50Hz,25A空开 2、接地(Ground); 系统接地:3Ω以下线径14mm2×1 3、设备外形尺寸;1300*1200*1800 4、冷却水(Cooling water): 压力:1.5~2kg/cm2,進出水口压力差1kg/cm2以上;流速:25~30L/M过滤软水;温度:20~22℃;水质:过滤软水; 接头规格:1”PT內牙×2 技术服务及售后质量保证: 1、按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输; 2 、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书; 3 、在甲方现场验收后,一年内免费维修正常使用出现的故障,非正常的故障维修只核收工本费,终身维修只核收工本费 |
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