南方科技大学 
 
SUSTech-JC-2023-01832
竞采结果公告

项目名称	关于冯军课题组采购四源手套箱连接热蒸发镀膜机的申请
项目编号	SUSTech-JC-2023-01832
项目类型	货物类
成交方式	最低价成交
公示时间	本公告自发布之日起三日
成交单位	鹏城半导体技术（深圳）有限公司
成交金额(元)	395000.00
成交理由	最低价成交
预算(元)	420000.0
项目预算是否含税	国产含税
备注

响 应 情 况	采购明细
	序号	名称	数量	单位	单价/元(报价)	总价/元(报价)
	1	四源手套箱连接热蒸发镀膜机（核心货物）	1	套	395000.0	395000.0
	品牌 鹏城半导体 型号 GSD400 生产厂商 鹏城半导体技术（深圳）有限公司 产地信息 中国深圳 技术规格及参数 四源手套箱连接热蒸发镀膜机解决方案及配置 一、设备用途、结构组成和主要参数： 标准配置是四个电阻热蒸发源：①金属舟（钨、钼、钽，电流控制方式）、②中温束源炉（陶瓷坩埚、石英坩埚，温度控制方式）、③钨蓝和钨绞丝（电流控制方式）。 上述三种类型的蒸发源，可蒸镀大多数材料，包括有机材料、金属材料等。 蒸发源数量，根据用户需求进行配置（4个）。 4、设计4套热蒸发源的位置，安装 4套热蒸发源。 其中两套金属舟蒸发源，电流控制方式的最大电流300A，通过铜水冷电极柱，将大电流引入真空室内。还有两套束源炉蒸发源配石英坩埚。-P1 2、设备由立式矩形真空室三开门、电阻热蒸发源、束源炉、可旋转加热样品台、机械泵分子泵真空机组、电控系统、膜厚测量系统，水冷管路组成。 -P1 3、立式矩形真空室，采用真空专用奥氏体不锈钢304材料，采用前后开门,以及上开门结构。 -P1 设备整体结构采用标准铝型材作为框架主体承载真空室。 -P1 4、蒸发源之间安装挡板，避免交叉污染。蒸发源带挡板 -P1 7、真空室上法兰盖中心处安装可旋转样品架。根据用户要求 : 基片尺寸为25mmX25mm。数量4片。定制配套掩膜板（由用户提供图形模板）样品台只提供一次掩膜图形镀膜，切换图形需破真空舱外手动更换图形。-P1-2 样品架可旋转，转速2～30转/min可调。基片和热蒸发源的距离280～340mm可调。样品台可加热至300℃。 -P2 样品台配整体样品台不锈钢挡板。-P2 8、采用超高真空密封技术和超高真空阀门，密封性能好，可保证镀制高质量的薄膜。 系统极限真空度：极限真空度2X10-5Pa。 工作背景真空度8×10-4Pa ，抽速30分钟左右(充干燥氮气)。 -P3 真空测量：微机型复合真空计，测量范围从1×105Pa到1×10-6Pa。电阻规测量低真空，电离规测量高真空。-P3 9、观察窗挡板： 玻璃观察窗带不锈钢挡板，避免材料镀到观察窗上，减少观察窗被镀膜的机会；同时，配有活动内衬玻璃挡板，避免镀到观察窗上，只需将活动玻璃拿出来清洗即可。 -P3 10、配真空室烘烤照明系统，烘烤灯采用真空密封石英灯。配烘烤照明电源。 -P3 11、配单个膜厚探头及膜厚仪，精度0.1A用于膜厚监测，不做膜层控制，高速高精度测量。采用特有的频率测量技术，频率测量分辨率为0.002Hz（TM508）,测量速度为10次/S。 -P3 12、真空腔体预留与手套箱对接的过度法兰。-P3 13、电控柜：放置到手套箱下，组装总控制电源、真空系统控制（分子泵、机械泵电源、阀等）、数显真空计、蒸发电源、PLC可编程控制器及液晶触摸屏等。柜底下配脚轮，方便移动、定位。 -P3 三、设备主要配置 1、镀膜室腔体部分 1.1、立式矩形三开门真空室1套，真空专用不锈钢（奥氏体，304）(品牌：鹏城半导体)；-P4 1.2、真空室三开门机构各1套(品牌：鹏城半导体)； -P4 1.3、预留2个盲板法兰口，用于设备功能的扩展；预留晶振膜厚仪接口(品牌：鹏城半导体)； -P4 2、真空系统部分 2.1、大抽速高质量性能的分子泵，抽速1200L/S，1台（品牌：KYKY） -P4 2.2、2X-8B机械泵 1台；8L/S （品牌：鲍斯真空）-P4 2.3、KF40真空挡板充气阀（电动）1台（品牌：九天真空）；-P4 KF40高真空挡板阀（电动）1台（品牌：九天真空）；-P4 2.4、泵阀连接组件1套(品牌：鹏城半导体)；-P4 2.5、前级不锈钢液压波纹管路1套(品牌：鹏城半导体)；-P4 2.6、微机型电阻—电离复合真空计1台（1低1高）大气～10-6Pa（品牌：睿宝科技）；-P4 2.7、低真空规管1支，（品牌：睿宝科技）-P4 高真空规管1只（品牌：睿宝科技） -P4 2.8、充放气阀1支（品牌：北京七星华创）；-P4 3、部件部分 3.1、Ф100观察窗2套，(品牌：鹏城半导体)； -P4 观察窗不锈钢挡板2套 ; (品牌：鹏城半导体)； -P4 活动玻璃内衬挡片2套(品牌：鹏城半导体)； -P4 3.2、可电动旋转加热样品沉积转台1套；(品牌：鹏城半导体) -P4 基片托架1套(品牌：鹏城半导体) -P4 3.3、样品台挡板1套；（品牌：鹏城半导体） -P4 3.4、水冷电极柱热蒸发源2套（可切换单套使用）(品牌：鹏城半导体)； -P4 3.5、源炉热蒸发源2套（可切换单套使用）(品牌：鹏城半导体)； -P5 3.6、蒸发源挡板4套(品牌：鹏城半导体)； -P5 3.7、可控温真空室烘烤系统1套(品牌：鹏城半导体)； -P5 3.8、热蒸发源之间的隔板1套(品牌：鹏城半导体)； -P5 3.9、设备主机架1套(品牌：鹏城半导体)；-P5 3.10、循环水冷机1台； -P5 3.11、手套箱1台（1500mm手套箱与真空室配合，能够与实验室内超级净化手套箱Universal系列集成控制使用。）(品牌：MIKROUNA)； -P5 3.12、小型空压机 -P5 4、电控部分 4.1、总电源1套(品牌：鹏城半导体)；-P5 4.2、300A恒流电源1台最大输出电压50V(品牌：鹏城半导体)；-P5 500W束源炉温控电源1台(品牌：鹏城半导体)； -P5 4.3、智能可控温烘烤电源1套(品牌：鹏城半导体)； -P5 4.4、样品台旋转驱动与控制系统1套（配电机）(品牌：鹏城半导体)； -P5 4.5、样品台加热电源（可加样品台加热至300℃）(品牌：鹏城半导体)；-P5 11、配单个膜厚探头及膜厚仪，精度0.1A用于膜厚监测，不做膜层控制，高速高精度测量。采用特有的频率测量技术，频率测量分辨率为0.002Hz（TM508）,测量速度为10次/S。-P3 4.7、电控柜集成在手套箱下方1套(品牌：鹏城半导体)；-P5 质保期 提供制造商免费质保1年。 售后要求 维修响应时间：提供设备报修电话及联系人（设备报修联系人：戴朝兰，设备报修电话：13632750017），招标人报修后，2小时内响应，24小时内派员上门现场维护，并在48小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。
	付款方式	合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30％作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付70％的货款。
	交货期	合同签订后120天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前2天（自然日）通知送货