东南大学 - 竞价公告 (CB102862024001597)
发布时间：2024-10-30 20:45:05 截止时间：2024-11-04 09:00:00
基本信息：
申购主题：纳米压印去胶机
报价要求：国产含税
发票类型：电子发票（普通发票）
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：发布竞价结果后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：江苏省/无锡市/滨湖区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	设备名称	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

纳米压印去胶机

1(台)

纳恩

NE-PE13FH

(1)采用NAEN TECH新一代全自动阻抗匹配固态射频电源，频率13.56MHz，功率300W无极可调 (2)316不锈钢腔体，腔体尺寸240mm（宽）*280mm(深)*200mm(高)，军工级焊接工艺 (3)4层平板气浴高导电铝合金专用电极，NAEN TECH专利新一代放电结构，CCP&RIE离子反应放电模式 (4)标配3层钢网托盘，单层有效处理面积210mm*204mm (5)门板均匀气路设计，配备高真空挡板阀结构 (6)标配2路MFC质量流量控制系统 (7)标配皮拉尼式真空计 (8)采用干式涡旋真空泵，16m³/h抽速，降噪减震设计, 全金属连接耦合系统 (9)三菱PLC+7寸真彩触摸屏 (10)自主专利设计等离子控制系统，智能定时定量，每个单元可单独控制，工艺过程实时监控，工艺配方可存储、调用，可自定义多段工艺步序

按行业标准提供服务