招标
深圳大学直流磁控镀膜意向公开
金额
193万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/05/21
公告摘要
公告正文
深圳大学直流磁控镀膜意向公开
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 直流磁控镀膜 |
| 预算金额（元）: | 1,930,000.000 |
| 采购品目: | 真空应用设备 |
| 采购需求概况: | 拟需采购一台直流磁控溅射，可以在6英寸尺寸样品上镀纳米到微米级薄膜，薄膜材料包括：各种金属，半导体，氧化物，氮化物，合金，掺杂薄膜等，实现各种纳米材料，纳米结构，纳米器件制备。 主要功能： 1. 在配有快速进样室的情况下，样品可以在20分钟之内更换，提高实验效率。 2. 可实现共溅射，用于合金，掺杂，化学计量比调控。 3. 可实现高致密度介质材料在反应气体辅助的条件下沉积。 4. 可实现原位真空衬底清洁，以提高薄膜附着力和提高薄膜质量。 5. 可实现全自动多层膜连续生长工艺。 6. 可实现6英寸范围内镀膜均匀性优于 /-3 %。 7. 可实现较高的真空度，极限真空优于2 x 10-7 Torr。 商务要求： 免费保修期：质保期3年。 1、接到设备安装要求的通知7个工作日天内，供应商需到达现场进行设备的安装调试以及培训工作； 2、自设备验收之日起，质保期36个月； 3、在设备质保期内，供应商需对设备出现的各类故障应及时免费提供维修服务，对非人为造成的各类零件损坏，及时免费更换。所更换部件保修期从更换日期起重新计算。 4、供应商提供7*24小时电话服务，一般故障2小时内做出响应，在接到维修要求电话后，在48小时内对用户的服务要求给出解决方案，经确认如有需要，技术人员将在72小时内到达现场。重大问题或其他无法迅速解决的问题应在两周内解决或提出明确解决方案。 5、供应商有维修和售后服务常设机构，配备经过专门培训的技术工程师，负责所供设备的售后服务和长期技术支持 6、质保结束后对于常用的配件及耗材厂家承诺不涨价，按照市场价水平出售。 |
| 联系人: | 林老师 |
| 联系电话: | 0755-26946823 |
| 预计采购时间: | 2024-06 |
| 备注: | 无 |
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