中标
[HF20243553]MEMS器件工艺加工成交公告
金额
19.5万元
项目地址
-
发布时间
2024/11/19
公告摘要
公告正文
1.项目名称：MEMS器件工艺加工
2.成交供应商名称：北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司
3.成交供应商地址：北京市海淀区海淀路5号
4.成交金额(币种)：19.500万元
5.付款方式：合同签订后10个工作日之内预付合同金额的30%，服务完成且验收合格后10个工作日之内支付合同金额70%。
6.主要成交标的：
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序号 |
服务内容 |
服务期限 |
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1 |
单面/双面光刻，图形转移 |
合同签订之日起 2 个月内 |
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2 |
深硅刻蚀，刻蚀深度2/8um |
合同签订之日起 2 个月内 |
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3 |
溅射金属 Ti/Pt/Au |
合同签订之日起 2 个月内 |
| 4 | 阳极对准键合、KOH减薄 | 合同签订之日起 2 个月内 |
华中科技大学机械科学与工程学院
2024年11月18日
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