项目名称:定制6英寸探针台两套
项目编号:ZBZXJJ20230031
采购单位:四川大学
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预 算: ￥ 270000
供应商资质要求: 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
采购商品:定制6寸手套箱内探针台
采购数量:1
计量单位:台
所属分类:半导体器件参数测量仪
品牌:成都测芯CHIPTEST
型号:D-150
技术参数及配置要求:★一、定制6寸手套箱内探针台
1） 卡盘大小：6英寸(6")
2） 样品固定方式：真空吸附（选用进口气路开关，独立控制吸附气路，中间吸附孔，外环配置吸附圈，可独立控制）
3） 背电极：载物台（卡盘）用镀银导体单独接地，不接地时可接电极做为背电极使用
4） 载物台（卡盘）升降：升降0~10 毫米（范围内任意高度可设置，精细升降）
5） 载物台（卡盘）旋转：具备旋转功能，可进行角度精细±5°旋转.
6） 探针座数量：可兼容4~6个大型针座
7） 探针台尺寸：（定制）
二、显微镜类型 高清同轴光显微镜
1） 放大倍率：标配8X- 400X
2） 显微镜 X/Y 位移范围：环绕立柱设计，可360旋转位置，可上下升降高度调节
3） 光源：LED 光源（无极调节亮度，无影灯）
三、 工业相机 高清CCD工业相机
1） 拍照功能：一键拍照
2） 尺寸测量：精确测量功能（带标定）
3） 录像功能：高清录像
4） 数据输出：支持U盘数据存储
★四、 定制探针座
1） 固定类型：磁性吸附（带90度旋转开关控制磁性有无）
2） 移动精度：±0.7umm
3） 针杆形状：管状，直插固定
4） Z轴粗调&细调：上下轴（z轴）粗调范围：13mm &细调范围：2mm
五、 探针夹具 定制三同轴探针夹具
1） 线缆长度：长度2M
2） 内阻：0.3~0.5Ω（超低内阻）
3） 接头类型：进口三同轴公头
★六、 5轴光纤定位器
1） 光纤耦合方式：具备任意角度耦合方式（包括：垂直向下，水平，垂直向上，倾斜耦合等）均可调。
2） 固定类型：磁性吸附（带90度旋转开关控制磁性有无）
3） 移动精度：±0.7umm
4） 针杆形状：管状，直插固定
5） Z轴粗调&细调 上下轴（z轴）粗调范围：13mm &细调范围：2mm
七、 进口真空吸附泵
1） 作用：日本进口真空泵，提供真空吸附力，固定器件。
2） 空气流量：7L/min，静音无油型；
3） 真空度：-250mm/Hg；
4） 尺寸：98mm*58mm*80mm，重量0.7kg；
5） 电源要求：220V/50Hz,小于50W;
八、 静音无油型空气压缩机
1） 工作电源：AC220V~10A；
2） 输出气压：0.6~0.8Mpa
3） 噪音：小于60dB
4） 功率：小于400W
5） 气源输出：1/4标准接头
九、 探针
1） 针尖半径：10um
2） 探针材质：钨合金
3） 包装规格：5支/盒
十、 显示器
1） 尺寸大小：21.5英寸
2） 分辨率：1920*1080P全高清
3） 对比度：3000：1
4） 低蓝光认证：具备
5） 视角：178°广视角
十一、 维护工具
（A）调试内六角扳手* 1套
（B）水平检测仪*1个
★十二、 质保及技术支持 现场安装、培训；质保一年；终身本地厂家提供技术支持。为保证售后服务质量，拟中标供应商需出具厂家或者总代盖鲜章的售后服务承诺书原件。
配置清单：
1、定制6寸手套箱内探针台 1 台
2、同轴光显微镜 1 套
3、高清CCD工业相机 1 套
4、定制探针座 4 套
5、定制三同轴探针夹具 4 根
6 、5轴光纤定位器 1 个
7 、进口真空吸附泵 1 个
8 、静音无油型压缩机 1 台
9 、探针 2 盒
10 、显示器 1 台
11、 维护工具 1 套
售后服务:服务年限:36月;电话支持:7x24小时;质保期:三年;
采购商品:定制6寸手套箱外探针台
采购数量:1
计量单位:台
所属分类:半导体器件参数测量仪
品牌:成都测芯CHIPTEST
型号:D-150H
技术参数及配置要求:★一、定制6寸手套箱外探针台
1） 卡盘大小：6英寸(6") 2） 样品固定方式：真空吸附（选用进口气路开关，独立控制吸附气路，中间吸附孔，外环配置吸附圈，可独立控制） 3） 背电极：载物台（卡盘）用镀银导体单独接地，不接地时可接电极做为背电极使用 4） 载物台（卡盘）升降：升降0~10 毫米（范围内任意高度可设置，精细升降） 5） 载物台（卡盘）旋转：具备旋转功能，可进行角度精细±5°旋转. 6） 探针座数量：可兼容4~6个大型针座 7） 探针台尺寸：（定制）
二、 显微镜类型 三目高清光显微镜
1） 放大倍率：标配8X- 50X（光学）；电子放大最大300X；
2） 显微镜 X/Y 位移范围：环绕立柱设计，可360旋转位置，可上下升降高度调节
3） 光源： LED 光源（无极调节亮度，无影灯） 三、工业相机 高清CCD工业相机 1） 拍照功能：一键拍照 2） 尺寸测量：精确测量功能（带标定） 3） 录像功能：高清录像 4） 数据输出：支持U盘数据存储 ★四、定制探针座
1） 固定类型：磁性吸附（带90度旋转开关控制磁性有无） 2） 移动精度：±0.7umm 3） 针杆形状：管状，直插固定 4） Z轴粗调&细调：上下轴（z轴）粗调范围：13mm &细调范围：2mm 五、探针夹具 三同轴探针夹具 1） 线缆长度：长度2M 2） 内阻：0.3~0.5Ω（超低内阻） 3） 接头类型：进口三同轴公头 ★六、5轴光纤定位器 1） 光纤耦合方式：具备任意角度耦合方式（包括：垂直向下，水平，垂直向上，倾斜耦合等）均可调。 2） 固定类型：磁性吸附（带90度旋转开关控制磁性有无） 3） 移动精度：±0.7umm 4） 针杆形状：管状，直插固定 5） Z轴粗调&细调：上下轴（z轴）粗调范围：13mm &细调范围：2mm 七、进口真空吸附泵 1） 作用：日本进口真空泵，提供真空吸附力，固定器件。 2） 空气流量：7L/min，静音无油型； 3） 真空度：-250mm/Hg； 4） 尺寸：98mm*58mm*80mm，重量0.7kg； 5） 电源要求：220V/50Hz,小于50W; 八、静音无油型空气压缩机 1） 工作电源：AC220V~10A； 2） 输出气压：0.6~0.8Mpa 3） 噪音：小于60dB 4） 功率：小于400W 5） 气源输出：1/4标准接头 ★九、气浮光学平台 1） 隔振方式：气浮式隔震平台。 2） 台面材料：高级不锈钢，台面布M6螺孔，阵距25mm×25mm； 3） 台面平整度：≤0.05mm/m2，表面光洁度优于1.5um； 十、进口探针
1） 针尖半径：10um 2） 探针材质：钨合金 3） 包装规格：5支/盒 ★十一、定制高级屏蔽箱 1） 开门方式：单开/双开（可选） 2） 功能：遮光、屏蔽电磁场等 3） 接地：采用无氧铜镀银线接地 十二、 显示器
1） 尺寸大小：21.5英寸 2） 分辨率：1920*1080P全高清 3） 对比度：3000：1 4） 低蓝光认证：具备 5） 视角：178°广视角 十三、 维护工具
（A）调试内六角扳手* 1套 （B）水平检测仪*1个 ★十四、质保及技术支持 现在安装、培训、本地技术支持；质保一年终身提供技术支持。为保证售后服务质量，拟中标供应商需出具厂家或者总代盖鲜章的售后服务承诺书原件。
配置清单：
1 定制6寸手套箱外探针台 1 台
2 三目高清光显微镜 1 套
3 CCD工业相机 1 套
4 定制探针座 4 套
5 三同轴探针夹具 4 根
6 5轴光纤定位器 1 个
7 真空泵 1 个
8 静音无油型压缩机 1 台
9 气浮光学平台 1 台
10 探针 2 盒
11 高级屏蔽箱 1 台
12 显示器 1 台
13 维护工具 1 套
售后服务:服务年限:36月;电话支持:7x24小时;质保期:三年;

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