一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：中大招（货）[2022]679号　　　　　　

原公告的采购项目名称：中山大学物理学院离子束刻蚀设备升级采购项目　　　　　　

首次公告日期：2022年11月11日　　　　　　

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：

（1）原招标文件中“第一部分 投标邀请函”的“八、报名方式及时间：2022年11月12日 08:30:00至2022年11月25日 17:30:00；”延期为“八、报名方式及时间： 2022年11月12日 08:30:00至2022年12月09日17:30:00；”。

（2）原招标文件中“第一部分 投标邀请函”中“十三、联系事项：获取文件截止时间：2022年11月25日 17:30:00” 延期为“十三、联系事项：获取文件截止时间：2022年12月09日 17:30:00”。

（3）原招标文件中“第一部分 投标邀请函”中“十、提交投标文件截止时间、开标时间和地点：（1）提交投标文件截止时间和开标时间： 2022年12月06日 09:00:00 （北京时间）。（2）投标文件解密时间：2022年12月06日9:00至12月06日9:30（如因系统原因无法正常解密，采购人可延长解密时间）；”更正为“（1）提交投标文件截止时间和开标时间： 2022年12月20日 09:00:00 （北京时间）。（2）投标文件解密时间：2022年12月20日9:00至12月20日9:30（如因系统原因无法正常解密，采购人可延长解密时间）。”。

（4）原招标文件中“第一部分 投标邀请函”中“十三、联系事项：投标截止时间：2022年12月06日 09:00:00”更正为“投标截止时间：2022年12月20日 09:00:00”。

（5）原招标文件中“第二部分 用户需求书”中的“2.4全自动气柜，须具有自动切换、自动吹扫的功能，能连续为生产设备供气；须具有防倒灌及交叉污染功能；盘面的排气管必须配置保护气体，具备压力监控来确认排放管是否正常有效；”更正为“2.4 半自动气柜，须具有吹扫、排放、远程关断的功能；须具有防倒灌及交叉污染功能；盘面的排气管必须配置保护气体，具备压力监控来确认排放管是否正常有效。”

（6）原招标文件中“第二部分 用户需求书”中的“气瓶柜接头：含钢瓶防拆装置，可以防止误拆钢瓶（供气及备用状态下，防拆装置须不可手动取消）；腐蚀性气体采用316 EP V+V材质，其他气体种类316 EP；”更正为“2.12气瓶柜接头：含钢瓶防拆装置，可以防止误拆钢瓶（供气及备用状态下，防拆装置须不可手动取消）；腐蚀性气体采用316 EP材质，其他气体种类316 EP。”

（7）原招标文件中“第二部分 用户需求书”中的“▲ 2.15控制要求：系统可以设定自动或手动操作模式；气柜控制器须与GMS不间断通讯，并须可实现远程控制功能；气柜必须密切监控循环吹扫状况，在吹扫过程中，任何反常的状况都必须有报警提示并具有再次执行工艺流程的效率及防呆措施；设备气动装置驱动压力须可显示并可调节；电气控制柜需要有微量氮气保护；”更正为“▲2.15控制要求：系统可以设定自动或手动操作模式；气柜控制器须与GMS不间断通讯，并须可实现远程控制功能；设备气动装置驱动压力须可显示并可调节；电气控制柜需要有微量氮气保护。”

（8）原招标文件中“第二部分 用户需求书”中的“2.20管路材质要求：工艺气体管路材质：（内管：SS316L EP，外管SS304 BA：SS304 BA）,腐蚀性双套管（内管：SS316L V+V，外管SS304 BA：SS304 BA），其他气体单管SS316LEP ；吹扫氮气管路材质：SS316L EP；抽真空氮气及气动阀气源、尾气排放管路材质：SS316L BA；”更正为“2.20管路材质要求：工艺气体管路材质：（内管：SS316L EP，外管SS304 BA：SS304 BA）,腐蚀性双套管（内管：SS316L，外管SS304 BA：SS304 BA）；其他气体单管SS316LEP ；吹扫氮气管路材质：SS316L EP；抽真空氮气及气动阀气源、尾气排放管路材质：SS316L BA。”

（9）原招标文件中“第二部分 用户需求书”中的“▲3.3 工艺流程要求：选用全自动气架，须具有自动切换、能连续为生产设备供气；须具有防倒灌及交叉污染功能；盘面的排气管必须配置保护气体，具备压力监控来确认排放管是否正常有效；在更换钢瓶时，气瓶架接头须具有防污染功能；设备左右供气盘面须可以独立维护及测试；盘面管路设计时要有防止部件被冷凝水滴到引起系统故障的保护措施；”更正为“▲3.3工艺流程要求：选用半自动气架，须具有吹扫、排放、远程关断的功能，能连续为生产设备供气；须具有防倒灌及交叉污染功能；盘面的排气管必须配置保护气体，具备压力监控来确认排放管是否正常有效；在更换钢瓶时，气瓶架接头须具有防污染功能；盘面管路设计时要有防止部件被冷凝水滴到引起系统故障的保护措施。”

（10）原招标文件中“第二部分 用户需求书”中的“▲3.15控制要求：气架控制盘面以中/英文显示,包含气体供应状况、运转状态、气瓶重量、压力显示及警报等功能；系统可以设定自动或手动操作模式；气柜控制器须与气体监测控制系统不间断通讯，并须可实现远程控制功能；气架必须密切监控循环吹扫状况，在吹扫过程中，任何反常的状况都必须有报警提示并具有再次执行工艺流程的效率及防呆措施；设备气动装置驱动压力须可显示并可调节；”更正为“▲3.15控制要求：气架控制盘面以中/英文显示,包含气体供应状况、运转状态、气瓶重量、压力显示及警报等功能；系统可以设定自动或手动操作模式；气柜控制器须与气体监测控制系统不间断通讯，并须可实现远程控制功能；设备气动装置驱动压力须可显示并可调节。”

（11）原招标文件中“第二部分 用户需求书”的“（二）配置清单：”中的“（1）全自动特气柜：7 套；”更正为“（1）半自动特气柜：5套。”

（12）原招标文件中“第二部分 用户需求书”中的“3.11温控系统：温控箱须配置独立4组加热通道，用于钢瓶、盘面加热；两侧钢瓶及盘面均可独立控制温度；控制箱须根据气体特性及安全要求进行合理布局；加热夹克与温度控制箱需用成品航空快速接头的方式连接；加热控制箱须具有过温保护功能，并能提供远程报警讯号；加热控制箱须具有过温保护功能，并须提供远程报警讯号在GMS显示温控箱运行状况；温控箱是连接加热电源及电伴热带的保护及送电装置，除了过载，短路保护外，每个送电回路都有漏电保护装置， 当回路产生漏电电流时。电伴热的馈电回路会自动跳闸；当温度超过设定的高低警报值时，会产生报警；消音按钮消除警报声音；温控箱配电要求电源为AC220V，50Hz；同时SSR等满足负荷要求，并配备散热片；易燃易爆区域控制箱需要防爆要求；3.12加热夹克包覆面积必须大于钢瓶（标准钢瓶）面积的1/2；加热夹克为使用石棉+防火布形式，电压220V，加热功率不低于600 w。内部至少包含两个温度传感器，以准确测量钢瓶温度；加热夹克内外表面材质须结实耐磨；加热夹克需附带超温、漏电保护及温度信号传输功能，并与现场温控箱匹配；3.13加热功能：特气的加电加热系统可以使特气管线和设备内的气体在外部环境温度为-15℃时维持在所需温度，从而保证气体不凝结，防止管线堵塞；”内容，整体删除。

（13）原招标文件中“第五部分 投标文件格式”中的“十九、技术规格/要求偏离表格式 序号3.▲2.15控制要求：系统可以设定自动或手动操作模式；气柜控制器须与GMS不间断通讯，并须可实现远程控制功能；气柜必须密切监控循环吹扫状况，在吹扫过程中，任何反常的状况都必须有报警提示并具有再次执行工艺流程的效率及防呆措施；设备气动装置驱动压力须可显示并可调节；电气控制柜需要有微量氮气保护；”更正为“序号3.▲2.15控制要求：系统可以设定自动或手动操作模式；气柜控制器须与GMS不间断通讯，并须可实现远程控制功能；设备气动装置驱动压力须可显示并可调节；电气控制柜需要有微量氮气保护。”

（14）原招标文件中“第五部分 投标文件格式”中的“十九、技术规格/要求偏离表格式 序号4.▲3.3工艺流程要求：选用全自动气架，须具有自动切换、能连续为生产设备供气；须具有防倒灌及交叉污染功能；盘面的排气管必须配置保护气体，具备压力监控来确认排放管是否正常有效；在更换钢瓶时，气瓶架接头须具有防污染功能；设备左右供气盘面须可以独立维护及测试；盘面管路设计时要有防止部件被冷凝水滴到引起系统故障的保护措施；”更正为“序号4.▲3.3工艺流程要求：选用半自动气架，须具有吹扫、排放、远程关断的功能，能连续为生产设备供气；须具有防倒灌及交叉污染功能；盘面的排气管必须配置保护气体，具备压力监控来确认排放管是否正常有效；在更换钢瓶时，气瓶架接头须具有防污染功能；盘面管路设计时要有防止部件被冷凝水滴到引起系统故障的保护措施。”

（15）原招标文件中“第五部分 投标文件格式”中的“十九、技术规格/要求偏离表格式 序号7.▲3.15控制要求：气架控制盘面以中/英文显示,包含气体供应状况、运转状态、气瓶重量、压力显示及警报等功能；系统可以设定自动或手动操作模式；气柜控制器须与气体监测控制系统不间断通讯，并须可实现远程控制功能；气架必须密切监控循环吹扫状况，在吹扫过程中，任何反常的状况都必须有报警提示并具有再次执行工艺流程的效率及防呆措施；设备气动装置驱动压力须可显示并可调节；”更正为“序号7.▲3.15控制要求：气架控制盘面以中/英文显示,包含气体供应状况、运转状态、气瓶重量、压力显示及警报等功能；系统可以设定自动或手动操作模式；气柜控制器须与气体监测控制系统不间断通讯，并须可实现远程控制功能；设备气动装置驱动压力须可显示并可调节。”

更正日期：2022年12月03日　

三、其他补充事宜

其他内容不变。如公开招标公告、公开招标文件如涉及上述内容的亦作相应修改。原公开招标公告、公开招标文件与更正公告有矛盾的地方，以此更正公告为准。

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：中山大学　　　　　

地址：广州市新港西路135号　　　　　　　　

联系方式：柯老师 020－84115084转803　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：广东元正招标采购有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：广东省广州市越秀区先烈中路102号之二26楼自编2608房　　　　　　　　　　　　

联系方式：020-87258495-108、103　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：孔嘉欣、华雪怡、何法岚

电　话：　　020-87258495-108、103