磁控溅射系统(GY202303533)自购结果公示
发布时间：2023-07-24
该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：	北京珀菲特科技有限公司
中标金额：	55000

公示开始日期	2023-07-24	公示截止日期	2023-07-25 11:20:17
采购单位	物理学院	付款方式	合同签订后支付50%货款，设备发货前支付40%货款，设备验收后支付剩余10%货款
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东大学光电所103

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位
磁控溅射系统	1	台

品牌	珀菲特	规格型号	定制
技术参数	1个2寸强磁铁磁控溅射靶枪； ？ 靶枪采用独立的进气和水冷设计； ？ 带有独立挡板，靶头可以原位摆动，角度范围0-30°; ？ 工艺气体接口是1/8卡套形式； ？ 冷却水接口是6mm快插； ？ 1个美国TDK-Lambda公司750W直流电源，型号GEN600-1.3 工艺气路，包括截止阀和深圳弗罗迈FL-802质量流量计及表头；
售后服务	服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时;

资产与实验室管理部
2023-07-24