上海交通大学高导低损碳铜复合薄膜变温镀膜一体化连续制
造系统公开招标公告
项目概况
上海交通大学拟采购 1 套高导低损碳铜复合薄膜变温镀膜一体化连续制造 系统，随着半导体、显示、光伏、核能等相关产业研究的发展以及薄膜沉积工 艺技术持续的演进，相关薄膜沉积设备需基于其复合结构特性及使用需求搭配 各类附件及结构单元进行不断改良与精进。对于复杂多层复合薄膜而言，仅通 过单一的薄膜制备工艺已无法满足相关的服役指标。在各单一腔体内完成薄膜 生长转移至其余腔体过程中，底层薄膜将不可避免地与外界空气接触才而使得 所完成的该薄膜已受到该外界空气的污染，影响该薄膜的品质。因此，亟需研 制一种连续化复合薄膜制备技术，保证薄膜生长过程中不受外界环境污染，为 薄膜材料服役环境的多元化与复杂化提供物质基础。此外，从薄膜制备的均匀 性角度出发，根据薄膜生长的热力学和动力学理论以及对薄膜生长过程的研究 来看，对于大尺寸基片表面的薄膜生长需要考虑与尺寸相对应的靶枪及靶材设 计、腔体尺寸、基片夹持方式和溅射粒子的运动轨迹等因素，因此，研制一种 同时兼具多类型薄膜生长方式且具有高均匀性的复合薄膜一体化连续制备系统 对高导低损耗碳/铜复合薄膜的进一步扩展及推广至关重要。 基于上述分析，拟研制的薄膜制备设备可实现（1）真空惰性气氛下各真空镀膜腔体连接及自动 化样品传送；（2）同时满足平整表面金属及金属氮氧化物薄膜的高均匀性镀膜 以及薄膜表面高温气相化学处理需求。该系统将用于： （1）弥补现有制备方 案较为单一，主要集中于单一物理气相沉积或单一高温化学气相沉积两类，缺 少复合制备一体化系统的问题，提高复杂复合薄膜制备的纯度及效率，为复合 薄膜制备提供设备支撑，将带动学院相关方向学者研究的内容的快速发展；（2）丰富镀膜设备结构设计要素，解决复杂表面薄膜生长存在的覆盖率，膜厚 均匀性差的问题，为复合材料服役时面临的集成化、结构复杂化等需求提供制 备基础，从而进一步促进复合材料的广泛应用，为提高复合材料的服役性能提 供实践基础。
一、项目基本情况
项目编号：0773-2341GNSHHWGK3833/校内编号：招设 2023A00201
项目名称：上海交通大学高导低损碳铜复合薄膜变温镀膜一体化连续制造 系统
预算金额：490.00 万元（人民币）
最高限价：490.00 万元（人民币）
采购需求：

序号	设备名称	数量	简要技术参数	合同履行期限（交付 期）	合同履行期限地点（交付地点）
1	高导低损碳 铜复合薄膜 变温镀膜一 体化连续制 造系统	1 套	2.▲目标材料：金属，硬 质薄膜，氮化物，氧化 物；3.厚度均匀性： ≤1% 其余详见本项目招标文 件。	合同签订后 18 个月 内完成所有设备的到 货及安装调试验收合 格	上海交通大学用户 指定地点

合同履行期限：合同签订后 18 个月内完成所有设备的到货及安装调试验收 合格 。
本项目(不接受)联合体投标。
注：本次招标不允许采购进口产品【根据财政部《政府采购进口产品管理 办法》（财库<2007>119 号）规定：进口产品是指通过中国海关报关验放进入 中国境内且产自关境外的产品】。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目非专门面向中小企业采购，执行政府强制采购节能产品、鼓励环保产品、支持中小微企业、促进残疾人就 业、支持监狱和戒毒企业、扶持不发达地区和少数民族地区以及限制采购进口 产品等相关政策。
3.本项目的特定资格要求：1）投标人在近三年内未被国家财政部指定的“ 信 用 中 国 ” 网 站 （ www.creditchina.gov.cn ） 、 “ 中 国 政 府 采 购 网 ”（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府 采购严重违法失信名单；2）本项目不接受联合体投标。
三、获取招标文件
时 间 ： 2023 年 11 月 23 日 至 2023 年 11 月 30 日 ，每天 上午 9:00 至 12:30，下午 12:30 至 17:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：上海市虹口区四平路 200 号盛泰国际大厦 606 室
方式：（1）投标人报名时须先登录“上海交通大学数字化采购平台（https://pboffice.sjtu.edu.cn/）”进行投标人注册并进行实名认证。（2）网上转账，请务必发邮件说明。邮件主题包含：投标人名称+项目编号+项 目名称，邮件附件包含：营业执照复印件（加盖公章）、法人代表授权书（加 盖 公 章 ） 、 身 份 证 复 印 件 （ 加 盖 公 章 ） 、 网 上 转 账 凭 证 。 发 送 至 zjzb2022@126.com。
售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2023 年 12 月 14 日 09 点 30 分（北京时间）开标时间：2023 年 12 月 14 日 09 点 30 分（北京时间）
地点：上海市虹口区四平路 200 号盛泰国际大厦 606 室
五、公告期限
自本公告发布之日起 5 个工作日。
六、其他补充事宜
标书费、投标保证金、中标服务费专用账户（人民币）：开户名：中金招标有限责任公司上海分公司
开户行：中国建设银行上海斜桥支行
账 号：31001514800050010790
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：上海交通大学
地址：上海市闵行区东川路 800 号
联系方式：招采办经办人：陆老师，021-54744366；技术联系人：刘老师，021-54741201
2.采购代理机构信息
名 称：中金招标有限责任公司
地 址：上海市虹口区四平路 200 号盛泰国际大厦 606 室
联系方式：宋晓飞、张莹莹，021-66059798*108 3.项目联系方式
项目联系人：宋晓飞、张莹莹
电 话：021-66059798*108