1. 下列机台用于6寸晶圆(25片/盒，双盒)的化学清洗，所有设备放置于客户净化厂房内。 2. 手动装卸Cassette（片盒），机械手操作搬运，化学液的排放根据客户要求排放。 3. 手动配液、排液二次确认、排液温度控制。 a. 材料：乳白PP焊接外壳 b. 全自动线尺寸：8000x2300X2400（参考尺寸，整体式，） c. 环境：Class 10（配备FFU） d. 管路系统：位于机台下面后方，以节省空间。 a. 材质： PP b. 化学药品： H2SO4 c. 容量： ~30L d. 纯水供给方式： 厂务供水，流量计控制 e. 化学液供给方式： 手动补液 f. 形状： 循环槽 g. 液位： 三点N2液位传感器 h. 流量控制： 过滤后带流量传感器，能够显示流量 i. 循环泵： 气动隔膜泵，Trebor620 j. DIW洗槽功能： 手动清洗、软体控制，排放于厂务废液管道 k. 排放方式： Quick Down快速排放

按行业标准提供服务