一、采购人：松山湖材料实验室

二、采购项目编号：441900-201903-0099990033-0010

三、采购项目名称：碳化硅外延生长设备

四、采购项目预算金额（元）：15,000,000.00元

五、拟采购的货物或者服务的说明

一、碳化硅外延生长设备的技术要求 1.★单片外延生长炉 2.反应室：圆形反应腔室 3.★晶圆尺寸：6英寸兼容4英寸 4.★外延层生长要求：1、具有1次生长100μm厚度的SiC外延生长能力。2、高速生长速率≥60μm/小时, 标准生长率≥30μm/小时。3、背景掺杂浓度≤1E14cm-3。4、n型掺杂浓度：从1E15～1E19 cm-3可控。5、6英寸片内厚度均匀性小于1%，浓度均匀性小于7%（均匀性=δ/均值*100%, 33点, 距边5mm，浓度在5E15cm-3左右）。6、表面缺陷：≤1/㎝2（厚度0～50μm）；≤1.5/㎝2（厚度51～100μm）。7、表面粗糙度: ≤0.3nm（厚度≤30μm）；≤0.5nm（厚度31～50μm）；≤0.8nm（厚度51～100μm）。表面粗糙度测试范围：10×10 μm。 5.整体结构：主体设备为分体式结构，传送腔室和反应腔室可以实现自动分离和闭合功能 6.传送系统：人工把晶片放入设备中，机械手根据指令取片至生长室，生长结束后放回。 7.冷却腔室：备有晶圆冷却腔室功能 8.工作环境：温度25±5℃，湿度<60%，超净室等级:1000级 9.设备电源：三相380V，或单相220V(以厂家实际为准)，50/60Hz； 10.中频电源额定功率：400/480V ±5% 3PH 50/60Hz 100KVA, 160A 11.加热感应线圈：环形感应线圈外置 12.★平均无故障工作时间MTBF≥200小时 13.★验收条件： 1、4寸和6英寸SiC衬底，分别按标准生长率≥30μm/小时进行3次生长实验，按高速生长速率≥60μm/小时进行3次生长实验（厚度达100um），厂家指定验收用的SiC衬底。 2、采用上述4寸和6寸衬底，分别进行6次生长实验均能满足技术要求第4条外延层生长要求规定的指标。 14.★如投标人为代理商或经销商，必须提供所投设备制造商出具的合法代理或经销授权证明复印件加盖公章。二、商务要求 1. ★交货期：合同签订后180天内到松山湖材料实验室。 2. ★付款方式：合同签订及中标人递交设备清单后7天内支付40%；发货前30天内支付25%；货到深圳机场后凭单证支付25%；通过验收后10天内支付10%尾款。如果由于采购人的厂务原因拖延设备安装进度而导致验收推迟，按从设备到达松山湖材料实验室之日起计算90天内支付10%尾款，但中标人仍保证调试设备通过验收。 3. ★违约责任： 3.1如延迟交货，除人力不可抗事故外，假设采购人已经支付前期货款, 中标人应在一周宽限期后, 付给采购人每一星期按迟交合同货物总值的0.5％的迟交罚款，不足一星期的以一星期计算，此项罚款总额不超过全部迟交合同货物总值的5％，在议付货款时由银行代为扣除，或由采购人付款时进行扣除。如延迟交货超过原定期十周时，采购人有权终止合同。但中标人仍应向采购人缴付以上规定之罚款，不得推诿或延迟，并退还给采购人全部的前期货款。 3.2采购人逾期付款的，每逾期一周，应向中标人支付合同金额0.5%的违约金，不足一周的以一周计算，此项罚款总额不超过合同总金额的5％。如延迟付款超过原定期十周时，中标人有权终止合同。但采购人仍应向中标人缴付以上规定之罚款，不得推诿或延迟。 4. ★技术服务及其它： 4.1技术文件：中标人应提供全套、完整的书面技术资料，包括设备说明书、操作手册、简单维修说明、结构图及电路总框图等。 4.2 设备安装、调试和验收：中标人在合同生效后的1个月内向采购人提供详细的安装要求并提供技术咨询；在设备到达前1个月，中标人应通知采购人水、电、气及其他设备必备辅助设施的具体要求，从而让采购人提前做好设备安装准备。设备到达采购人所在地，在接到采购人通知后一周内进行安装调试，直至通过验收。 4.4技术培训：在采购人所在地对设备使用者2-3人进行设备操作和维护进行培训，使被培训人员达到能够熟练使用。培训内容包括设备的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。 4.5保修期：中标人提供1年的免费整机保修,保修期自设备验收签字之日起计算。 4.6维修响应时间：在保修期内，中标人工程师在收到采购人的维修服务要求后4小时内做出回应，48小时内到达用户现场进行维修，除需进口设备配件外，应使设备恢复正常使用。 4.7维修服务：设备验收后20年内，中标人提供设备维修服务。 4.8软件升级：中标人免费向采购人提供在硬件许可条件下的软件升级服务。

六、采用单一来源采购方式的原因及相关说明：

碳化硅外延生长设备主要参数要求：(1) 单片外延生长设备，托盘尺寸兼容4英寸和6英寸；（2）具有1次生长100μm厚的SiC外延层的生长能力,其标准生长速率不低于30μm/小时，高速生长速率不低于60μm/小时；（3）背景掺杂浓度不超过1E14cm-3, n型掺杂浓度从1E15～1E19 cm-3可控；(4) 6英寸片内厚度均匀性小于1%，浓度均匀性小于7%（均匀性=δ/均值*100%, 33 点, 距边5mm，浓度在5E15cm-3左右）；（5）外延膜表面缺陷：厚度为0～50μm 时不高于1/㎝2, 厚度51～100μm时不高于1.5/㎝2；（6）表面粗糙度：厚度≤30μm时不高于0.3nm；厚度31～50μm时不高于0.5nm；厚度51～100μm时不高于0.8nm。目前能够满足上述要求的并且设备可靠性高、稳定性好的设备只有意大利LPE公司生产的PE1O6型碳化硅外延设备，该设备的可靠性和稳定性能够满足采购人的需求。目前在国内只有洛佩诗（上海）国际贸易有限公司代理此设备。基于以上考虑，根据《政府采购法》第三十一条符合下列情形之一的货物或者服务，可以依照本法采用单一来源方式采购：（一）只能从唯一供应商处采购的。本项目拟采用单一来源采购方式，现根据相关法律法规的要求，进行单一来源采购征求意见公示。

七、拟定的唯一供应商名称、地址：

包号	供应商	供应商地址
A包	洛佩诗（上海）国际贸易有限公司	中国（上海）自由贸易试验区英伦路38号721室

八、专家论证意见：

（一）各专家对相关供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见，专家的姓名、工作单位和职称：

专家1：张峰、中国科学院半导体研究所，职称：研究员；专家2：郝维昌、北京航天航空大学，职称：教授；专家3：刘泉林、北京科技大学，职称：教授。论证委员会一致认为洛佩诗（上海）国际贸易有限公司作为碳化硅外延生长设备的唯一供应商。

（二）专家小组综合意见：

论证委员会一致认为洛佩诗（上海）国际贸易有限公司作为碳化硅外延生长设备的唯一供应商。

九、本公示期限（不得少于5个工作日）自2019 年 06 月 03 日 至 2019 年 06 月 11 日 止。

十、联系事项

（一）采购项目联系人（代理机构）：翟润膺

联系电话：0769-88839111

采购项目联系人（采购人）：陈小姐

联系电话：0769-89136773

（二）采购代理机构 ：东莞市粤隆招标有限公司

地址：广东省东莞市南城街道体育路2号鸿禧中心B902号

联系人：叶振华

联系电话：0769-88839111

传真：0769-81216222

邮编：523000

（三）采购人：松山湖材料实验室

地址：东莞市松山湖大学创新城A1栋

联系人：陈小姐

联系电话：0769-89136773

传真：0769-89136773

邮编：523000

（四）财政部门：政府采购监管科

地址：东莞市南城鸿福路99号

联系人：政府采购监管科

联系电话：0769-22831131

发布人：东莞市粤隆招标有限公司

发布时间：2019年06月03日