南方科技大学 
 
SUSTech-JC-2024-00864
竞采结果公告

项目名称	等离子增强系统（薄膜沉积制备系统）
项目编号	SUSTech-JC-2024-00864
项目类型	货物类
成交方式	最低价成交
公示时间	本公告自发布之日起三日
成交单位	维绅克科技（深圳）有限公司
成交金额(元)	900000.00
成交理由	最低价成交
预算(元)	920000.0
项目预算是否含税	国产含税
备注

响 应 情 况	采购明细
	序号	名称	数量	单位	单价/元(报价)	总价/元(报价)
	1	等离子增强系统（薄膜沉积制备系统）（核心货物）	1	套	900000.0	900000.0
	是否接受进口 拒绝进口 品牌 SUPERALD 型号 E200SP 生产厂商 深圳市原速光电科技有限公司 产地信息 中国深圳 技术规格及参数 1. 腔体：尺寸:φ200mm, 样品台高度≥10mm，材质:316L不锈钢。 2. 源气路：路数:6路，2路常温源，4路可加热源，每路配备1瓶250mL不锈钢源瓶、2个最高温180°C阀门。 3. 反应物气路：路数：1路, H2O，H2O路配1个75mL不锈钢源瓶 4. 等离子体系统：功率1000W，频率13.56MHz，自冷射频源，功率稳定度、调节精度≤10W，转换效率≥65%自动匹配,响应时间<3s，2路气体：N2、O2 5. 臭氧系统：氧气输入1路流量控制，输出1路微调阀+1路最高温180°C阀门，产量5g/h以上，浓度44-93g/m3集成残余臭氧处理器。 质保期 2年 售后要求 1.维修响应时间：质保期内提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，24小时内响应，指导客户维护，如确需上门服务，72小时内派员上门现场维护，并在5天内提供解决方案。 2.在质量保证期内，如合同货物出现质量问题、数量不足、故障、缺陷的, 由卖家负责包修、包换或者包退，并承担修理、调换或退货所发生运费、维修人员交通差旅费等费用。
	付款方式	货到指定地点、安装验收合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付100％的货款。
	交货期	合同签订后30天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前3天（自然日）通知送货