江苏大学立体光刻微纳加工系统单一来源采购公示

中标

立体光刻微纳加工系统复杂结构极限加工能力光学监控系统微量树脂加工系统 nanoArchS140打印系统

金额

项目地址

江苏省

发布时间

2020/06/04

公告摘要

项目编号jsdxzbcg202037

预算金额-

招标公司江苏大学机械工程学院

招标联系人-

中标公司深圳摩方新材科技有限公司

中标联系人-

公告正文

一、项目编号：JSDXZBCG202037

二、采购人名称：江苏大学机械工程学院

三、项目名称：立体光刻微纳加工系统

四、组织类型：自行组织

五、项目概况：

该设备是采用面投影微立体光刻技术实现超高精度微尺度加工，采用从上往下投影的方式用紫外光将超精细图案投影到液态树脂表面使其固化，逐层累加从而完成产品的制作。智能柔性机械电子公共研发平台设备，将为开展柔性器件与系统、微流体芯片、微纳制造研究提供制造装备，此类研究需要精确的3D微纳结构。此外还可以为能源、半导体、先进材料等领域研究提供支撑。

六、项目主要技术参数指标:

指标项	指标要求
光学分辨率	光学分辨率≤10μm（需要提供制造商盖章的产品彩页或产品说明书作为证明材料）
加工层厚	最小加工层厚≤10μm （需要提供第三方测试报告）
最大加工样品尺寸	加工样品尺寸≥90×50×45mm （需要提供第三方测试报告）
二维加工最小尺寸	二维加工最小线宽≤12μm（需要提供第三方测试报告）
三维加工最小尺寸	三维加工最小特征尺寸≤50μm（需要提供第三方测试报告）
复杂结构极限加工能力	加工最小圆锥尖端≤15μm，加工最小孔径≤50μm （需要提供制造商原厂测试报告）
加工材料	打印材料：405nm固化波段的通用型光敏树脂，光敏树脂的成型精度10μm，包括硬性树脂、韧性树脂、生物兼容性树脂、耐高温树脂（热变形温度@0.45MPa，在140℃以上）
光学监控系统	需配备工业相机。全幅面光学监控，像素≥1600万（需提供制造商原厂资料证明）
微量树脂加工系统	用于量小材料的加工，容量20ml，最大加工样件尺寸≥10×10×10mm（需提供制造商原厂资料证明）