1.项目名称：8英寸窄带锆钛酸铅薄膜探测器工艺开发
2.成交供应商名称：湖北九峰山实验室
3.成交供应商地址：中国湖北省武汉东湖开发区九龙湖街9号   
4.成交金额(币种)：19.080万元
5.付款方式：签订后10个工作日之内预付合同金额的30%，服务完成且验收合格后10个工作日之内支付合同金额70%。
6.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
1	开发基于锆钛酸铅薄膜叠层和黄金天线结构的红外探测器，最小线宽0.4μm，完成天线阵列图形化，锆钛酸铅薄膜刻蚀及背孔深硅刻蚀等关键工序的研发调试	合同签订之日起6个月

                                                                       
 
华中科技大学集成电路学院
2024年12月02日