中南大学 - 竞价公告 (CB119422024001241)
发布时间：2024-06-04 08:51:30 截止时间：2024-06-07 09:01:17
基本信息：
申购主题：双靶磁控溅射镀膜仪
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：湖南省/长沙市/岳麓区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号		数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

双靶磁控溅射镀膜仪

1/台

不限

不限

1. 电源电压：220V 2. 极限真空度：优于10-5Pa，进口分子泵 3. 样品台加热温度：室温~500℃ 4. 靶枪数量：2个，一个直流，一个射频 5. 靶枪冷却方式：水冷 6. 靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1-5mm 7. 载样台：~Ø100mm （80~140mm之间均可以） 8. 带膜厚监测仪 9. 膜厚不均匀性：≤±3% 10. 载样台转速：转速在一定范围内可调 11. 工作气体：Ar等惰性气体 12. 可镀金属、非金属、铁电等材料，如银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、ITO、二氧化硅等 13. 可移动的柜/箱式整机设备 14. 触屏或电脑软件自动化控制系统

质保期为2年。