中国科学院化学研究所紫外光刻机采购项目公开招标公告

招标

具备自动聚焦功能无掩模直写光刻纳米定位样品四个读写头 Z轴自动聚焦规范编制紫外光刻机分子科学交叉研究平台国产产品基片进口产品

金额

项目地址

北京市

发布时间

2023/12/18

公告摘要

项目编号tc23080ea

预算金额-

招标公司中国科学院化学研究所

招标联系人贾老师

招标代理机构中招国际招标有限公司

代理联系人徐润斌

标书截止时间2023/12/25

投标截止时间2024/01/12

公告正文

全国公共资源交易平台

中国科学院化学研究所紫外光刻机采购项目公开招标公告

发布时间：2023-12-18 19:12信息来源：怀柔区公共资源交易系统原文链接地址

中国科学院化学研究所紫外光刻机采购项目公开招标公告

项目概况

中国科学院化学研究所紫外光刻机采购项目招标项目的潜在投标人应在中招联合招标采购平台（http://www.365trade.com.cn）获取招标文件，并于2024年01月12日09点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：TC23080EA

项目名称：中国科学院化学研究所紫外光刻机采购项目

预算金额：318.00000 万元（人民币）

最高限价（如有）：318.00000 万元（人民币）

采购需求：

包号	1
货物名称	紫外光刻机
数量（台/套）	1套
简要规格描述	1.1 基片尺寸：支持8英寸及以下尺度基片，即刻写面积不小于200mm200 mm； #1.3 紫外光刻机光源：光源波长365nm，曝光强度≥20 mW/cm² #1.6 无掩模直写光刻光源：405nm高功率激光光源，曝光强度≥45 mW/cm?，光源使用寿命不低于20000小时； #1.10 正面套准精度优于1um，具备Backside Alignment正反面对位校准功能; 2.1高精度纳米定位样品台，定位精度10nm 2.2 具备自动聚焦功能，Z轴自动聚焦Autofocus范围不小于4.5 mm *3.2 四个读写头的控制方式为自动切换无需手动更换;
*交货期	国产产品：合同签订后5个月内；进口产品：合同签订后5个月内
交货地点	国产产品：中国科学院化学研究所北京分子科学交叉研究平台；进口产品：DDP中国科学院化学研究所北京分子科学交叉研究平台
保修期	仪器保修期应自安装验收通过之日起一年。在保修期内，任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题，厂家负责免费维修。
是否允许采购进口产品	是
是否专门面向中小企业采购	非专门
采购预算（万元）	318
最高限价（万元）	318

合同履行期限：交货期：国产产品：合同签订后5个月内；进口产品：合同签订后5个月内。

本项目(不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3. 本项目的特定资格要求：

（1）投标人所投产品如为进口产品，应获得产品制造商出具的针对本项目的授权，格式可采用招标文件中的格式或由投标人自拟。

（2）从中招国际招标有限公司正式获得了本项目的招标文件。

（3）本项目为非专门面向中小企业采购的项目。

（4）本项目不接受联合体投标。

（5）凡在法律或财务上不能独立合法经营，或在法律或财务上不能独立于本项目采购人、采购代理机构的任何机构或自然人，不得参加投标。

（6）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，参加同一标段（分包）投标或者未划分标段（分包）的同一招标项目投标，其投标将作为无效投标被拒绝。

（7）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的投标人，其投标将作为无效投标被拒绝。

（8）在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单或在中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）未被列入政府采购严重违法失信行为记录名单，或不存在《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十九条规定的行政处罚记录。

三、获取招标文件

时间：2023年12月18日至2023年12月25日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：中招联合招标采购平台（http://www.365trade.com.cn）

方式：本项目采用线上发售电子版招标文件，有意购买文件的潜在投标人，请在招标文件发售截止日前按以下步骤顺序进行操作，获取招标文件：（1）首次注册供应商：登录“中招联合招标采购平台（http://www.365trade.com.cn）”（以下简称“平台”），点击“供应商/投标人入口”进行免费注册。（2）已在平台注册过的潜在供应商，登录后点击“寻找招标项目”，进行项目名称或项目编号查询，找到项目点击“立即投标”，选中需要投标的标包点击“提交报名”。（3）在“我参与的项目”选择相应项目后的“立即购标”按钮，选择相应标包“提交支付”并下单缴费。支付完成后，可直接下载招标文件。（4）支付完成后，点击页面上方“我的工作台”下拉菜单中的 “我参与的项目”进行招标文件下载。（5）如有平台操作方面的疑问请按以下方式与技术支持联系：客服电话：010-86397110、010-62108037（客服工作时间：周一至周五上午9时00分-11时30分，下午13时30分-17时00分）。