品牌

托帕科技

型号

CK400-3

生产厂商

沈阳托帕科技有限公司

产地信息

沈阳

技术规格及参数

1、采用单室D型前开门结构，设有观察窗及挡板；
2、极限真空度：溅射室极限真空度≤6.6×10-5Pa；系统从大气开始抽气：溅射室４０分钟工作真空度可达到：6.6×10-4Pa； 压升率：停泵关机12小时后真空度≤10Pa；
3、磁控靶：3英寸永磁控靶2个，三靶位，磁控靶即可直流也可射频；磁控靶通水冷却，磁控靶配有气动挡板结构；
4、加热旋转样品台可放置一片样品，具有连续旋转功能，旋转０-２０转／分连续可调，可加温至500℃；
5、工艺气体：工作气路3路：独立质量流量控制器3路，用于反应气体进气和氩气气路；
6、真空室内有衬板，避免溅射材料直接溅射到溅射室真空壁上；
7、安装台架：整个设备安放在一个用承载式标准台架上，箱体均进行喷塑处理。
8、设备具有断水报警保护功能；
9、提供冷却水循环机。
10.主要电源参数及数量：直流电源 500W1台；全自动匹配射频电源 500W 1台；真空计 1台；控制电源 1台；加热电源 800W 1台；

售后及质保要求

保修期一年，保修期自货物验收合格之日起计算。响应方应在前述保修期内为货物及其随机配件提供免费维护和修理。