中山大学先进能源学院原子层沉积系统采购项目
基本信息

项目编号	中大招（货）[2022]1309号
项目名称	中山大学先进能源学院原子层沉积系统采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	原子层沉积系统	采购单位	中山大学
项目预算	***	采购开始时间	2022-11-22 22:32	采购结束时间	2022-11-28 09:00	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后45天交货	经办人	刘老师	经办人电话	020-84115080
送货地址	广东省深圳市光明区公常路66号中山大学工学园1栋4楼
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、本项目国内货物部分：含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同（通用货物类）-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算（适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上）”；境外供货部分：付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 （2）通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”，加征关税及进口代理费用由乙方支付。报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、本项目采用数字证书，请供应商根据指引 http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902）提前办理CA证书。  5、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备	数量	参考品牌	详细响应要求
原子层沉积系统	1台		详情请进入系统查看
"原子层沉积系统"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明 1 1. 工作条件：电源电压：AC 380V±10%，50Hz，三相五线。长时间连续工作（满足7×24，即每周7天、每天24小时运行）。 重要 否 2 2.设备基础规格：1）适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工。2）设备运行过程中，整机外壳温度均不高于60℃，以保证操作的安全性。 重要 否 3 3.真空腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理。样品台室温至500℃可控，尺寸不小于直径200mm，可放样品高度不小于10mm。腔体进气方式：前驱体蒸汽通过喷淋头进入真空腔，蒸汽自上而下流经衬底。 重要 否 4 4. 腔体开关方式：可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关；耐腐蚀O型密封圈。 非常重要 是 5 5.腔体具备快速开关真空隔离装置，防止前驱体气体和等离子体活性自由基交叉污染，避免污染电感耦合等离子体反应装置。 非常重要 是 6 6.真空腔体上方具备独立的反应气扩散区域，配备活动式结构，腔体上方所有结构可完全打开。反应腔体内部配备可更换式内衬。 重要 否 7 7.1）至少配备6路前驱体源管路：2路常温源、4路加热源（不低于150℃）；其中常温源管路需加配耐腐蚀微调阀。2） 每个前驱体源气路至少配备1个源瓶（≥250mL）和2个进口阀门。3）阀门配备安全互锁检测功能，在真空腔门打开时处于强制关闭状态，防止前驱体暴露在空气中。4） 至少配备2路反应物管路，反应物包含H2O，每路反应物管路分别配备1个进口阀门，阀门最高耐温不小于150℃。5）反应物管路需加配微调阀。6）反应物H2O管路需配备至少1个经过电解抛光处理且体积不小于75mL的不锈钢源瓶。7）前驱体管路配有载气（N2），载气管路前端需配备计量调压阀、气动阀等。8）吹扫管路采用不少于1个质量流量控制器和1个进口阀门（阀门最高耐温不小于150℃）用于控制惰性气体。9）管路及接头均采用EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封。 重要 否 8 8.源瓶系统：室温至150℃可控，控制精度≤±1℃。 重要 否 9 ★9.加热箱：室温至150℃可控，控制精度≤±1℃，要求所有管路放置在加热箱内实现一体式加热，加热箱内管路温度均匀性≤±5℃。 重要 是 10 10.1）采用固态继电器用于控制加热。2）真空泵采用双级油封式旋片真空泵，抽速≥62m3/h，噪音不大于62dB。3）真空测量：至少配备2个真空压力计，包含一个高真空压力计和一个大气真空压力计。4）真空压力计采用薄膜规，要求高精度，长寿命，必须对腐蚀性介质具有极高的耐受性，可在工艺进行的同时进行压力监测，精度：±0.25%读数；响应时间：<20ms；分辨率：≤0.005%FS。 重要 否 11 11. 设备软硬件规格：1）控制系统配备工控机和PLC，工控机配备SSD固态硬盘，安装正版操作系统；PLC可支持2ms扫描周期。2）输入设备配备鼠标、键盘和触摸显示器，显示器尺寸不小于19inch，可360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停。3）界面操作系统支持历史数据、报警日志的存储和导入导出功能。4） 界面操作系统需实时展示系统加热状态、所有阀门开关状态、腔室压力状态。5）界面操作系统具备配方编辑功能，可对工艺参数沉积温度、循环次数、脉冲时间等进行编辑。6）用户可设定设备及工艺运行时的报警参数，包括但不限于温度、压力、流量等。7)用户可设定设备及工艺运行时的提醒参数，包括前驱体源用量追踪及提醒功能。8)界面操作系统具备用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，针对操作人员分级管理。9)界面操作系统支持多个配方交替运行，实现单一和多层薄膜材料的制备。10)界面操作系统可自动完成Thermal-ALD和PEALD的单一或多层配方运行。11)界面操作系统配备独立的维护界面，所有管路具备自动清洗功能，确保ALD阀门与真空腔之间的管路没有前驱体残留。12)阀门配备电磁阀，电磁阀响应时间<5ms，带过电压保护回路，带动作指示灯。 重要 否 12 12.等离子体系统:1)采用电感耦合（ICP）远程等离子体激发源。2)配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间。3)配备自动匹配器集成步进马达和驱动器，集成VI传感器，传感器具备检测射频功率输出端参数功能，匹配时间不大于3s。4) 至少配备1路气体管路，包含N2。5)每路气体管路至少配备1个进口阀门和1个质量流量控制器。6)等离子体工艺启辉窗口，功率范围30-1000W，压力范围0.05-1.0Torr。 重要 否 13 13.等离子系统：配备射频电源，频率≥13.56MHz，功率不小于1000W，冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于10W，功率转化效率不小于65%，杂散功率抑制不小于-60dBc，谐波抑制不小于-50dBc。 非常重要 是 14 14.工艺及服务： 工艺验收标准：8英寸（直径200mm）单晶硅片基底上沉积≥29nm Al2O3薄膜，薄膜的不均匀性＜2％（均匀九点）。 重要 否 15 15.配置清单：原子层沉积系统1台；集成等离子体系统1套。 重要 否 16 16.售后服务及培训要求：1）4小时内用电话，电子邮件或传真答复指导。如果电话，电子邮件或传真指导不能解决问题，中标人的工程师在收到客户电话的48小时内到达客户实验室解决问题。2）培训要求：安装调试后，中标人应做一次不少于4小时的培训，直至设备使用人员学会使用为止，培训人数原则上不限定。 重要 否

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