晶圆湿制程设备招标项目中标结果公告(1)

中标

晶圆湿制程设备全自动显影机晶圆晶舟全自动金蚀刻机全自动钛钨蚀刻机全自动光刻胶清洗机全自动晶圆清洗机手动零件清洗机供酸设备显影液双氧水药水去光刻胶液金蚀刻液

金额

项目地址

广西壮族自治区

发布时间

2022/07/01

公告摘要

项目编号0817-224gxylzb002

预算金额-

招标公司广西华芯振邦半导体有限公司

招标联系人-

招标代理机构云之龙咨询集团有限公司

代理联系人-

中标公司超劲科技股份有限公司

中标联系人-

公告正文

2022-07-01 机电产品招标投标电子交易平台

项目名称：晶圆湿制程设备招标项目
项目编号：0817-224GXYLZB002
招标范围：序号产品名称数量简要技术规格备注 1 全自动显影机 1套晶圆晶舟:12” 晶舟目的:本设备使用12”专用晶舟,提供显影制程用 2 全自动金蚀刻机 1套晶圆晶舟:12” 晶舟目的:本设备使用12”专用晶舟,提供金蚀刻制程用 3 全自动钛钨蚀刻机 1套晶圆晶舟:12” 晶舟目的:本设备使用12”专用晶舟,提供钛钨蚀刻制程用 4 全自动光刻胶清洗机 1套晶圆晶舟:12” 晶舟目的:本设备使用12”专用晶舟,提供光刻胶清洗制程用 5 全自动晶圆清洗机 1套晶圆晶舟:12” 晶舟目的:本设备使用12”专用晶舟,提供晶圆清洗制程用 6 手动零件清洗机 1套目的:本设备提供凸块制程零件清洗制程用 7 供酸设备 1套药水种类:显影液 8 供酸设备 1套药水种类:双氧水 9 供酸设备 1套药水种类:去光刻胶液 10 供酸设备 1套药水种类:金蚀刻液
招标机构：云之龙咨询集团有限公司
招标人：广西华芯振邦半导体有限公司
开标时间：2022-06-16 15:00
公示时间：2022-06-26 17:18 - 2022-06-30 23:59
中标结果公告时间：2022-07-01 19:10
中标人：超劲科技股份有限公司
制造商：超劲科技股份有限公司
制造商国家或地区：中国