广州市黄埔区政务服务数据管理局（广州开发区行政审批局）关于对12英寸集成电路生产线技改项目环境影响评价文件拟进行审查的公示




根据12英寸集成电路生产线技改项目环境影响评价文件等，按照建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，我局拟对该项目环境影响评价文件作出审查。为体现公开、公正的原则，强化公众参与，现将该项目环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期为 2023年07月 25日至 2023年07月31日（5个工作日），如有意见，请在公示期内来信或来电向我局反映。
联系地址：香雪三路3号政务服务中心4楼B区，邮编：
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听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定，自公示之日起五个工作日内建设单位及有关利害关系人可对我局拟作出的决定提出听证申请。

项目名称	12英寸集成电路生产线技改项目
建设地点	广东广州黄埔区
建设单位	广州粤芯半导体技术有限公司
项目概况	12英寸集成电路生产线技改项目选址于广州市黄埔区凤凰五路28号，拟依托现有的生产厂房、部分生产设备和配套设施，新增部分生产设备和部分配套设施，对现有产品组合进行调整和新增车规级IGBT芯片，改扩建后项目产品方向为高精度数模转换芯片、高端电源管理芯片、光学传感器、车载及生物传感芯片、车规级IGBT芯片（产品方向的变化主要体现在生产原料种类、配比、产污等方面的不同），并在此基础上扩建新增产品规格90~180nm的12寸集成电路芯片；年增产12英寸集成电路芯片6万片，改扩建后全厂年产12英寸集成电路芯片54万片。项目年工作365天，每天工作24小时。
环评机构	广州经济技术开发区怡地工程有限公司
主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施	改扩建项目各类生产废水依托现有厂区自建的各废水处理系统进行处理。改扩建后项目含铜废水单独收集后经“混凝沉淀”处理；研磨废水单独收集后经“化学中和+双氧水去除+化学沉淀法”处理；酸碱废水单独收集后经“化学中和”处理；含氟废水单独收集后经“化学中和+CaCl2化学沉淀法”处理；含氟含氨废水单独收集后经“氨氮吹脱+化学中和+双氧水去除+CaCl2化学沉淀法”处理后与有机废水汇合经“水解酸化+AO+MBR”处理。改扩建后项目有机废气（VOCs）集中收集依托现有的2套沸石转轮浓缩焚烧系统（燃天然气）处理后依托现有排气筒（DA001、DA006）高空排放；改扩建后项目热氧化、CVD、光刻中的曝光、干法刻蚀、离子注入（一期项目的）等工艺废气集中收集经POU设备（主要工艺为燃烧水洗、电加热水洗、水洗和干式吸附）处理后并入9套（现有8套，新增1套）酸性废气处理系统（碱液喷淋洗涤塔）处理经排气筒（现有的DA003~DA005、DA009~DA013，新增的DA020~DA021）高空排放；改扩建项目不新增离子注入设备，新增产能部分的离子注入工艺依托二期项目生产机台，离子注入工序废气集中收集经POU装置（干式吸附）处理后依托现有排气筒（DA014）高空排放；改扩建后项目碱性废气（NH3）集中收集依托现有的3套酸液喷淋洗涤塔处理后依托现有排气筒（DA002、DA007~DA008）高空排放；改扩建后项目污水处理站应加盖密闭，产生的氨气、硫化氢等恶臭污染物集中收集经2套（现有1套，新增1套）两级喷淋洗涤塔处理后引至排气筒（现有的DA015，新增的DA022）高空排放。
公众参与情况	项目受理公示期间无反馈意见。