发布时间：2022-11-03 10:23:08
截止时间：2022-11-11 12:00:00
申购单号：CF105902022001242 签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同
申购主题：基于绝缘衬底上硅（SOI）的两维声子晶体纳米制造加工服务 送货时间：合同签订后10天内送达
采购单位：深圳大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：广东省/深圳市/南山区/****
发票类型：增值税专用发票
币种：人民币
预算：65000.0
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：计算机时服务竞价
申购明细：
序号：1
采购内容：基于绝缘衬底上硅（SOI）的两维声子晶体纳米制造加工服务
数量：16
预算单价：
品牌：/
型号：/
规格参数：1.接收由甲方提供的光刻胶样品，并将其置放于光线暗/黄环境下，以避免样品损坏。 2.对SOI的顶层硅进行RIE刻蚀，直至露出氧化硅层。 3.去除光刻胶。 4. 通过VHF蒸汽处理去掉氧化硅层，直至纳米结构全部呈现。 5.通过扫描电子显微镜SEM对处理后的纳米结构样品进行质量检查，确保无SiO2层残留。 6. 将完成后的样品（检查合格品）妥善包装后寄回甲方。 7. 本次技术服务所有产权归甲方所有。
质保及售后服务：按行业标准提供服务
附件：