发布时间：2022-11-21 08:45:22
截止时间：2022-11-24 08:51:18
申购单号：CB106132022000344 签约时间：发布中标结果后15天内签约合同
申购主题：研发型纳米压印设备 送货时间：合同签订后90天内
采购单位：西南交通大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：四川省/成都市/金牛区/****
发票类型：增值税普通发票
币种：人民币
预算：******
付款方式：货到经验收合格后付款
备注说明：WSJJ-2022-138
申购明细：
序号：1
采购内容：研发型纳米压印设备
数量：1
预算单价：台
品牌：天仁微纳
型号：GL4MINI
规格参数：▲1.1、设备用于纳米压印工艺，实现高精度纳米结构复制，包含工作模具复制和纳米压印功能； 1.2、可实现100mm、2英寸晶圆的压印工艺； ▲1.3、手动上下料，在设备内可实现工作模具自动复制，自动纳米压印及脱模，压印结构完整； 1.4、母版材质可为硅片，石英，玻璃，金属或者聚合物，尺寸兼容100mm、2英寸圆形模具，厚度范围0.1mm-5mm； 2、工艺指标 ★2.1、压印结构精度可达50纳米以下； ★2.2、压印结构深宽比可达7.5:1（线宽150纳米以下光栅结构深度1微米结构须在验收中被验证）以上； ★2.3、压印结构残胶层厚度可达20纳米以下； ▲2.4、结构转印精度：压印结构与原始模具对比优于±5%，不包含材料收缩因素，转印结构精度误差＜±5%； 3、压印单元 3.1、基底托盘采用铝合金材质，表面精密研磨加阳极氧化处理，对晶元吸附面无划伤，不同尺寸基底边缘有溢胶槽用于接收溢胶 4、基底加热单元 4.1、基底加热单元温度范围：室温-70℃，设置精度±1℃； 4.2、面板热均匀值≤±3%，面板热均匀性（在面板有效区域上随机选取 15 个测温点，测算出温度均匀性，公式如下：±（最大值-最小值）/平均值/2*100%）； 5、曝光单元 5.1、365nm LED紫外曝光固化系统，曝光面积大于100mm直径； 5.2、光强范围：最大光强300mW／cm2 ，曝光强度可调，内置UV能量计读取实际辐射强度； 5.3、曝光均匀性：100mW~300mW/cm范围内≧80%，计算公式：（1-（测量最大值-测量最小值）/（测量最大值+测量最小值））%
质保及售后服务：1、按行业标准提供产品和服务； 2、是否要求本地有售后服务网点：（B） A.是 B.否 “本地”指采购单位所在省级行政区域；有售后服务网点的证明材料包括：参与竞价公司营业执照，当地某公司营业执照以及该当地公司与参与竞价公司之间签订的有效合作协议。本地供应商无需上传证明文件；外地供应商需上传当地服务网点证明文件压缩包。 3. 保修期：货物验收后 12 个月（包括配件与人工）。
附件：