1.4交货期：合同签订后5个月。1.3数量:1台。1.2设备用途：用于测试光刻胶厚度和均匀性，为多种不同样品表面提供全面的二维和三维形貌特性分析。1.1设备名称：光刻胶膜厚测试仪。1.货物描述：光刻胶膜厚测试仪技术要求

2.4针压控制：0.5-15mg；2.3垂直方向分辨率：≤0.1Å；2.2台阶高度重复性：4Å（使用2um探针量测1um台阶高度标准片）；2.1垂直扫描高度范围：0-300um；2.技术参数要求：1.5工作条件：室温：530C。

2.10一次性划线长度≥200mm；2.9Windows10操作系统；2.8平台定位重复性≤2um；2.7平台XY,以及旋转都为自动马达控制；*2.6最大测量范围：200mm；2.5最小测量速度：2um/sec；

*2.16可20个点的连续自动测量数据；*2.15设备重复性：4Åforstep≤1μm，0.1%forstep＞1μm；*2.14探针规格：从0.05μm到50μm多种探针规格可选配；*2.13探针压力范围：0.5mg-50mg；*2.12测量重复性：≤1μm；*2.11扫描速度范围：2μm/sec-25mm/sec；

３、验收：能通过“标准网络”（使用TCP/IP或UDP协议）和/或“串行数据”和/或“工业现场总线”等接口方式，采集设备相关参数，感知设备工作状态，输出工艺数据，并能进行授权控制。高清图像；测量功能：能够实现三维测量；样品旋转台角度：360°旋转；有防震系统；

3.3、验收标准：3.2.3签署最终验收报告。根据各项验收情况，以各项验收的合格报告及样件的测试结果作为验收依据，达到验收标准后由买卖双方签署最终验收报告，签字确认验收合格。3.2.2安装与调试的验收内容包括：在开箱验收结束后，由卖方技术人员在买方指定地点对设备进行安装调试，对买方技术人员进行培训并对设备进行验收。具体包括设备的具体安装步骤、设备的操作及操作过程中注意事项，日常维护保养等；测试的结果作为判断设备性能良好的依据保留，根据安装与调试的情况，由买卖双方代表签署安装与调试的验收报告。3.2.1开箱验收在买方工厂进行。内容包括：在设备到达买方工厂后，由买方通知卖方，要求进行设备开箱验收；卖方在接到通知后七个工作日内，派人员到买方工厂进行设备开箱验收。具体包括设备的品种、数量、规格型号和随机配件等进行开箱清点；对设备外观、各部件的完好性检查，标准配置的点检等一切与设备完整性相关的检查。根据开箱验收情况，由买卖双方代表签署设备开箱验收备忘录。如发现设备损坏或规格型号与合同不符等情况，由供货方承担责任。3.2、验收内容：3.1、验收程序：验收程序包括开箱验收、安装与调试验收，签署最终验收报告。

4.1设备质保期不少于1年，质保期从设备最终验收之日起计算。4、质量保证和售后服务：３.5、设备验收后，如果出现设备安装地点发生变更的情况，卖方提供一次免费的技术服务（包括搬迁、安装、调试等）。３.4、验收不满足买方要求或不合格，买方将拒绝验收并要求换货或退货。３.3.2设备安装调试完成后，买方工作人员在卖方工作人员的培训和指导下，对设备的各部件组成及功能有清晰的认知，能够独立、正确地完成对设备的维护保养工作。３.3.1按设备技术要求、合同中相关内容及相关标准验收文件验收。

4.5培训：卖方应免费提供主要操作方法、维护保养方式等的培训服务。培训内容包括讲解光刻胶膜厚测试仪测试原理、不同部件及组装、各部件功能、操作方法及日常保养、样品测试、故障处理等，以买方员工能独立完成设备的操作、正确进行样品测试和日常维护为标准。4.4质保期满后，卖方将在设备的使用寿命内（十年以上）保证提供持续的技术支持和备件供应。质保期外由非人为因素造成损坏的零部件由卖方修复或更换，只收取零件费或材料费。卖方应保持供货渠道畅通，长期提供设备所需的维修备件；提供设备终身售后服务，接到用户维修邀请后，24小时内给予响应，5天之内到达现场维修及时排除故障。部件由卖方无条件免费更换；如软件出现使用问题，免费负责升级维护，不收取其他费用。如发生故障，卖方应在接到通知24小时内给予答复，确需维修人员到场的，72小时内派人到现场排除故障。4.3在设备质保期内实行保修服务，因设备质量原因造成损坏的零应具备可靠的维修服务实力，在国内设有售后服务中心、维修机构及专业维修人员。4.2设备必须是全新的，技术先进的、成熟可靠的定型设备，卖方

6、报价方式：外汇（100%信用证）/人民币报价（含税）。5、包装和运输：由投标方提供运输，并且包装和运输应符合有关海运、中国境内陆运的标准。包装箱应防潮、防锈、防震、防粗暴装卸。保证设备在运输过程中不受损坏，到达之后各项功能完好无损。若在运输过程中，因包装而引起的设备腐蚀、碰碎、丢失等造成的一切损失由卖方承担。