东南大学 - 竞价公告 (CB102862023002189)
发布时间：2023-11-27 09:55:47 截止时间：2023-11-30 09:00:00
基本信息：
申购主题：高真空电阻蒸发镀膜
报价要求：国产含税
发票类型：增值税普通发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：发布竞价结果后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：江苏省/南京市/江宁区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

高真空电阻蒸发镀膜

1/台

微纳真空

VZB-400

1、真空腔室：尺寸不小于400×400×495mm（长×宽×高），前门开度尺寸不小于360×420mm（长×宽），与手套箱密封结合良好，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm；后门铰链式活开门，方便打开维护检修；配至少一套方便拆卸的防污隔板；2、真空系统：主泵采用具有不低于4300m3/h抽吸能力的高性能分子泵，前级泵采用不低于30m3/h抽吸能力的直联双级旋片泵，需配备旁抽； 3、真空极限：≤2.3×10-7Torr； 4、抽速：分子泵完全启动，抽至4.0×10-6Torr≤15min； 5、样品台：尺寸不小于120×120mm（长×宽）方片，配一体式全尺寸挡板，挡板水平打开需要磁流体密封；样品台掩膜结构根据客户要求定制设计；样品台需要设计旋转，转速不少于0-25转/分且可自行调整； ★6、热阻蒸发源：不少于4组蒸发源，需包含金属蒸发源和有机蒸发源，各源均独立，金属蒸发源采用陶瓷绝缘结构，有机蒸发源采用陶封法兰金属密封结构，源间有隔板，源上有气动水平打开式挡板，高度可调，要求磁流体密封；不少于2组蒸发电源，需包含金属用蒸发电源和有机用蒸发电源，金属用蒸发电源功率不小于2.2kW, 有机源用蒸发电源，最高加热温度不低于600℃； 7、蒸镀过程控制：采用薄膜沉积监控仪在线监测、控制蒸镀速率和膜厚，控制器膜厚仪速率显示精度优于±0.1Ā/s，厚度显示精度±0.1Ā，可自控膜厚；8、操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效； 9、辅件配置：冷却循环水机1台，制冷量不小于600w，控温±0.1℃；静音气泵1台，额定压力0.7MPa，最大流量115L/min；所需试验蒸镀材料高纯铝颗粒，纯度99.999%； ★10、该套设备与手套箱集成：厂商需要将该镀膜设备与需方现场的手套箱在硬件和软件上对接，保证真空镀膜设备和手套箱各自的密封，且能形成一套完整的系统，所需费用需包括在该套设备报价内。

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