中标
反应阴极等离子体沉积系统（ZBZX-JJ20191233）成交结果公告
金额
-
项目地址
四川省
发布时间
2020/01/06
公告摘要
公告正文
成交供应商：
北京捷造光电技术有限公司
成交金额：
选标理由：
符合要求，价格最低
反应阴极等离子体沉积系统（ZBZX-JJ20191233）成交结果公告
| 项目名称 | 反应阴极等离子体沉积系统 | 项目编号 | ZBZX-JJ20191233 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2020-01-06 15:18:55 | 公告截止日期 | |
| 采购单位 | 四川大学 | 付款方式 | 进口设备： 甲方与所委托的进口代理公司签订代理进口委托协议后，将进口项目货款支付给代理公司指定的银行账户，项目货款仅用于本进口项目的信用证或TT付汇及进口相关费用等。进口代理公司收到甲方合同货款后，按外贸合同要求及时履行与乙方委托的境外代理公司的付款义务。 国产设备：甲方应在完成验收并建立固定资产后向乙方一次性支付本合同的总款项，乙方须向甲方出具合法有效完整的完税发票及凭证资料进行支付结算。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后10个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后120个工作日内 |
| 预算 | 450000.0 | ||
| 收货地址 | 四川省成都市望江路29号四川大学材料科学系 望江校区第一理科楼 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 反应阴极等离子体沉积系统 | 1 | 台 | 其他特种设备 |
| 品牌 | 捷造光电 |
|---|---|
| 型号 | RTP-100 |
| 技术参数及配置要求 | 1 设备名称：空心阴极离子镀膜系统 2 主要功能：提供在较高真空环境下，在衬底上制备均匀的损伤低的薄膜材料。应用于薄膜太阳能电池、发光器件、探测器等光电器件的制备，金属电极的制备。 3 主要技术参数及要求 ★3.1 工作原理：采用等离子体产生器，通过氩离子来激发低能量高密度的电子束，并利用磁场将此电子束聚焦到坩埚表面，将坩埚内的材料直接升华成气相，被高度游离化的材料离子在衬底表面再结合，形成高质量的薄膜。 ★3.2 设备组成和真空系统 设备由主机、电控柜和循环冷水机组成。主机由前后开门真空室，空心阴极离子枪，磁聚焦水冷坩埚，旋转悬浮工件架，气动挡板机构，机架单元，冷却水系统，压缩空气系统，流量控制系统，真空系统等组成。 真空系统采用高性能泵组结构，1小时内小于等于8×10-4Pa；腔体的真空极限优于8×10-5Pa，真空室升压率≤0.8Pa/h。具有旁路抽气系统，可实现不停分子泵的情况下对真空腔室进行充气，并打开舱门,更换镀料和基片。配有气动可调角度光阑阀，直径200mm。 ★3.3 腔体部分：前后两个门，前门配有玻璃观察窗与防污挡板；两门均可单独打开，外壁水冷；前门采用铝合金，适配手套箱。真空室尺寸：450×500×600mm（L×W×H）；主机尺寸：1500×1200×1900mm（L×W×H）；控制柜尺寸：1000×700×1800（L×W×H）。 ★3.4 电气控制系统：采用计算机与PLC构成上下位机控制结构，对基片旋转系统，真空系统，工艺气体流量等进行控制。具有多级报警，互锁保护，多种操作权限等功能。 ★3.5 空心阴极枪：水平外装于真空室左侧两级加速极，永磁+电磁聚焦钽管和热屏蔽可换结构主放电电源大于5kW，最大电压120V，电流≥50A；启动电源电压DC800V，电流5A；聚焦电源电压DC30V，电流2A；偏转电源电压DC80V，电流3A。 ★3.5 坩埚和衬底：水冷坩埚尺寸约Φ30×30（mm）；衬底尺寸为45mm×60mm，配有旋转工件架，公转转速～15rpm，偏心安装～150mm，采用磁流体密封。气动挡板采用磁流体密封。 ★3.6 工作气体：真空室采用2路MFC（Ar200,O250sccm）；空心阴极离子枪采用 1路MFC（Ar500sccm）。 ★3.7 真空测量：采用INFICON进口冷阴极电离规测量高真空，INFICON进口皮拉尼电阻规低测量低真空。 4 交货时间：四川省成都市四川大学望江校区，合同生效后150天内供货并安装调试完毕。 5 付款方式：货到验收通过后付全款 6 设备工作环境：电源为三相四线供电380V、30KVA。环境温度5℃～40℃。 |
| 售后服务 | 服务网点:外地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后48小时;质保期:一年; |
公告来源：
https://www.yuncaitong.cn/publish/2020/01/06/16F79B9CB8A22A916FCC47E7D31CE250.shtml
解决方案
联系我们
返回顶部