项目概况
清华大学8"接触式光刻机采购项目 招标项目的潜在投标人应在登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年12月23日 08点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：清设招第20221392号
项目名称：清华大学8"接触式光刻机采购项目
预算金额：700.0000000 万元（人民币）
采购需求：

包号	名称	数量	是否允许进口产品投标
01	8’’接触式光刻机	1套	是

设备用途介绍 ：
接触式对准曝光模块主要通过紫外曝光的方式，实现微纳结构图形的转换。该模块还可扩展支持相应尺寸的晶圆键合对准工艺，完成晶圆键合工艺。该模块广泛应用于半导体光电器件、微电子器件、传感器件的制造加工和纳米技术研究。
键合模块能够实现复杂的芯片堆叠结构，广泛应用于MEMS器件、LED、3D IC、先进封装、SOI材料制备等。
简要技术指标 ：
1）接触式对准曝光模块：支持晶圆尺寸：8英寸和4英寸；对准精度：顶部≤±0.5μm，底部≤±1.0μm；最小分辨率：≤1.0μm@真空接触（8英寸晶圆），≤0.8μm@真空接触（4英寸晶圆）。
2）键合模块：支持晶圆尺寸：8英寸；腔体结构：采用符合人体工程学要求的腔体上开盖设计，键合腔体可以完整打开或半开，无须使用机械传输工具，预对准后的晶圆组可方便的通过夹持工具直接放入键合腔中进行键合，方便腔体清洁及不同压盘的切换，提高使用效率。
合同履行期限：合同签订后17个月内完成设备交货。
本项目( 不接受  )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
需要落实的政府采购政策：扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等。
3.本项目的特定资格要求：1）在中华人民共和国境内注册；2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件；3）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；4）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；5）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动。
三、获取招标文件
时间：2022年12月02日  至 2022年12月09日，每天上午8:00至12:00，下午13:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）
地点：登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式：登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn 方式：本项目招标文件网上登记报名，潜在投标人在线提供申请材料（营业执照复印件、法人代表授权书等），经审核通过后获取电子版招标文件
售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2022年12月23日 08点30分（北京时间）
开标时间：2022年12月23日 08点30分（北京时间）
地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室管理处1区5层第一评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：清华大学　　　　　
地址：北京市海淀区清华大学　　　　　　　　
联系方式：李春艳，010-62795196　　　　　　
2.项目联系方式
项目联系人：李春艳
电　话：　　010-62795196