三年期电子束光刻系统维修保养服务中国科学院微电子研究所2024年5月政府采购意向

三年期电子束光刻系统维修保养服务
项目所在采购意向：	中国科学院微电子研究所2024年5月政府采购意向
采购单位：	中国科学院微电子研究所
采购项目名称：	三年期电子束光刻系统维修保养服务
预算金额：	**0万元 (人民币)
采购品目：	C****-其他维修和保养服务
采购需求概况 ：	标的名称：***：***系统的维护、保养和更换电子枪等服务项目。 标的数量：***：***，各项技术指标达到出厂时的技术要求。
预计采购时间：	2024-05
备注：

信息来源：***://ccgp.****.cn/cgyx/pub/proJ/details?projId=21d206bc-f283-47ca-9430-19a3263de3a8