1.项目名称：LPCVD 原厂维修及工艺调试服务
2.成交供应商名称：重庆斯迈特科技有限公司
3.成交供应商地址：重庆市南岸区茶园新区米兰路32号  
4.成交金额(币种)：19.92843万元
5.付款方式：100%全额预付
6.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
1	清单中真空件的购置、更换及安装； 氧化硅/氮化硅/多晶硅薄膜工艺调试服务 湿法氧化膜厚均匀性优于2%； 干法氧化膜厚均匀性优于4%； 氮化硅和多晶硅膜厚均匀性优于5%.。（原厂服务）	付款后90天内完成发货；收到货后，厂务条件具备，90天内完成安装、工艺调试。
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华中科技大学武汉光电国家研究中心
2023年04月17日