稀土永磁真空气氛升温处理集成系统单一来源采购征求意见公示

武汉大学拟采购稀土永磁真空气氛升温处理集成系统，使用单位申请单一来源方式采购，现予以公示。

一、 采购内容：

本设备为稀土永磁真空气氛升温处理集成系统，主要用于稀土永磁在氢环境下或惰性气体环境下时效处理工艺。

二、 主要技术指标要求：

1. 型式： 卧式、内循环式快冷、全金属保温屏、程控真空电阻炉

2. 加热功率： 120KW

3. 炉内有效工作区： 500（高）×500（宽）×1400（深）mm

4. 装料量： 500kg

5. 最大承载能力（冷态）： 800kg（含料盘及料框）

6. 最高炉温： 1200℃

7. 工作温度： 1100℃

8. 温度均匀性： ≤±3℃（1050℃时，真空、空炉保温

30分钟后测量，9点测温）

9. 真空度：

工作真空度： 优于8×10^-3Pa（空炉、1050℃保温1小时、充分烘炉后）

极限真空度： 优于8×10^-4 Pa（空炉、烘炉后、室温下测量）

分压气体种类： H2，Ar

10. 压升率（空炉）： 优于0.3Pa/h

11. 效率（空炉）：

抽气时间： 真空系统40分钟内从大气达到8×10^-3Pa（洁净）

升温时间： 2小时升至1050℃（升温过程中真空压力

P≤1×10^-2Pa）

12. 动力条件：

（1）总电源：

制式： 3相5线制

电压： 380V/220V

频率： 50Hz

总功率： 150Kw

（2）冷却水

冷却水温度： ≤32℃ （夏季）

冷却水水压： 0.3～0.4MPa

冷却水总用量： ≤50T/h

冷却水PH值： 7~9

固态杂质含量： ≤100 mg/litre

硬度： ≤10°DH

氯离子含量： ≤20 mg/litre

循环水为闭式循环水（每路水在进水处都设有阀门，方便检修）

（3）压缩空气： Air 0.4～0.6MPa

（4）工作气体： 高纯Ar 0.2～0.3MPa（快冷气体）

高纯H₂ 0.2～0.3MPa（工艺气体）

13. 设备外形尺寸及外观：

外形占地空间： 约5000（长）×6000（宽）×3500（高）mm

表面涂覆颜色： 设备主体颜色为冰灰色外加醒目红色易爆+高温警示标识。

三、稀土永磁真空气氛升温处理集成系统组成：

1、真空室、加热系统及组成部件：

真空室：分为前炉门、炉体、后炉门、隔热反射屏、循环风道、加热器和托料装置。

（1）前炉门：前炉门为双层标准封头及法兰盘组焊而成，内外封头都有冷却水进行冷却。内封头为不锈钢材质（SUS304）。

（2）炉体：炉体由内外炉筒及法兰盘组焊而成，留有电极、热电偶孔，双层夹壁通冷却水进行冷却。内炉筒为不锈钢材质（SUS304）。

（3）后炉门：后炉门为双层标准封头及法兰盘组焊而成，内外封头都有冷却水进行冷却。内封头为不锈钢材质（SUS304）。

（4）隔热反射屏：隔热反射屏采用全金属方形结构，反射屏共有6层，由内到外，第一、二层为高温钼，其余材质为高温不锈钢和不锈钢材料。隔热反射屏采用方形结构，减少热区容积，有利于节能和温度均匀性，保证工艺顺利进行。

（5）快冷循环风道：

冷却风道由集风壳、吹风管构成。

（6）加热器：在炉体内部装有板状加热器，由三个独立的加热器构成。功率独立调整以保证工作空间的温度均匀性。加热器材料为高温钼，绝缘材料采用氧化铝陶瓷，炉体上的加热器在反射屏上的支撑以柔性方式连接，使加热器在加热膨胀时有伸缩余地，并且加热带易于安装、拆卸、维修、更换。

（7）托料装置：包含钼支撑杆以及可拆卸的导轨，托料盘用户自备。

2、真空系统及组成部件：

真空系统为扩散泵——罗茨泵——滑阀泵系统，主泵采由扩散泵（ＫＴ－６００，１７５００Ｌ／Ｓ）、罗茨泵（ＺＪＰ－１２００，１２００Ｌ／Ｓ），滑阀泵（Ｈ－１５０Ｄ，１５０Ｌ／Ｓ）和直联泵（２ＸＺ－１５，１２Ｌ／Ｓ）构成。真空系统抽速大，可以保证实现真空炉的冷、热态真空度指标。各种真空阀均为国内知名公司的产品，泄漏量极小且可靠，充分保证了压升率。

真空管道上设计过滤器装置，捕集杂质及颗粒，有效降低罗茨泵及滑阀泵的磨损。

扩散泵加热器带控温功能，上方装有水冷冷阱，扩散泵及冷阱的冷却水单独供给，由一台工业冷水机组提供，水温可调，抑制扩散泵的返油和机械泵长时间工作时油雾向真空室里的扩散。

高真空挡板阀、预抽挡板阀、前级挡板阀带位置传感器，保证位置识别。

3、快冷系统及组成部件：

特点：系统的风量大，冷却气体循环快，热交换器换热面积大、效率高，可保证被处理工件的工艺要求；冷却气体在炉体内部循环使工件冷却；电机与风机的连接采用磁流体密封，方便可靠。换热器采用滚压成型翅片管焊接成型，材料为紫铜，冷却速度快，分水管全部采用不锈钢管，耐腐蚀，寿命长。

组成：热交换器、离心风机、电机、集风壳、磁流体转轴等。

4、进气系统及组成部件：

充气系统包括手动阀、电磁阀、质量流量计、压力变送器、真空规以及数字压力传感器组成。大部分阀门均采用自动阀门，数字压力传感器测量Ar和H₂压力；两个质量流量计分别用来控制Ar和H₂用量，起分压功能。降温时，充入Ar直至设定炉内压力进行快冷，系统具有气体超压保护。

在执行程序时，首先打开气路上的Ar阀、进气阀和放（排）空阀对管路进行Ar冲洗，大约经几分钟后（由经验掌握），关闭Ar阀，打开氢气主阀和氢气旁路阀，对氢气管路进行清洗，大约十几分钟后，关闭氢气阀门。

压力变送器测量氢气、氮气的压力。保证缺氢气时自动转入通Ar，进行保护，保证设备的安全性。

组成：气动球阀、压力开关、真空挡板阀、手动阀、电磁阀、质量流量计、数字压力传感器、隔膜阀、压力变送器、真空规及管道。

5、排气系统及组成部件：

排气系统包括电磁阀、加热丝及变压器组成。变压器给加热丝供电，自动点燃排气口H₂，烧掉H₂保证安全。

组成：电磁阀、加热丝、变压器管道等。

6、水路系统及组成部件：

前后炉门、炉体等所有夹层结构、电极、密封圈、机械泵、扩散泵及热交换器等部位均通冷却水冷却。冷却水系统设有水压表、水流传感器及水温的测量，用以监视水路是否正常，冷却水入口处带管道过滤器。

组成：进水管路、回水管路、水流传感器、温度传感器、球阀、压力表、过滤器。

7、电气控制系统及组成部件：

该设备电气控制部分由控制柜和加热电源柜及外部配线组成。设备的控制和监控由一套可编程序控制器完成，温度控制由PLC实现，处理过程控制、监控和数据采集由一台工控机及触摸屏完成，所需要的软件包含于设备中，不单收费。

炉温、炉压等数据都被自动记录、显示，需要时可打印。

触摸屏上一个模拟图显示设备的现实状态，以及各重要功能部件如加热、泵、阀门以及故障报警。温度、压力实时数据在屏幕上显示。

（1）控制柜：

控制柜内装有不同规格的空气开关（进口品牌）作为总电源开关及各部分电源开关，并对电路起保护作用。用交流接触器（进口品牌）作为机械泵、罗茨泵、扩散泵和离心风机等器件的输出控制，用继电器作为各个阀门的输出控制。设备的操作及运行通过可编程控制器（PLC）和触摸屏实现。用PLC实现对加热过程的测量和自动控制。控制柜按功能组划分区域，控制柜上都采用风扇强制散热。

（2）温度控制、加热电源柜：

本设备的加热电源为节能控制方式，用电力调整器来控制加热功率，因而能使炉温按预定的曲线升温。控温方式分为自动控温和手动控温两种方式，两种方式可以自由切换。炉内加热由炉体三段加热组成，这三部分各自是独立的加热系统，由PLC按照设定的温度曲线进行PID闭环控制。每套加热系统都有一个电力调整器，共三个电力调整器及控制电路装于电源柜内，受温控器控制给炉丝提供加热功率。加热电源柜护板采用百叶窗式。控温热电偶类型为S型。

炉内的温度由三个热电偶S型热电偶测量，每个加热区对应1个，还有1个热电偶用作超温报警。加热电源柜上装有电流表和电压表，显示各加热回路电压和电流情况。

（3）工艺程序输入方式：

PLC /触屏输入，工艺过程参数掉电保护。

（4）真空控制：

本设备的真空测量采用PLC采集方式并在PC上显示，由一个高真空复合规分别测量炉内的高、低真空度。前级真空度采用低真空规测量。

（5）快冷控制：

当加热停止并达到充气温度后向炉体内充入Ar气，压力达到80KPa后停止充气，并启动快冷风机。当炉内压力低于70KPa时向炉内补充Ar气，压力超过80KPa停止充气。当温度降至快冷结束温度以下后，停止快冷风机，快冷过程结束。

（6）报警系统：

本设备对于超温、温度偏差大、总进水压力、热交换器缺水、水温过高、真空度不足、气体压力不足等异常情况进行声光报警，并执行相应的保护措施。

（7）设备关键件：

扩散泵KT-600 沈阳真龙

罗茨泵ZJP-1200 浙江

滑阀泵H-150D 浙江

可编程控制器S7-1200 西门子

工控机 富士康

低压电气 进口品牌

质量流量计 北方华创

四、采用单一来源采购方式的原因及相关说明：

经调研，稀土永磁真空气氛升温处理集成系统，北京北方华创磁电科技有限公司在中国具有稀土永磁领域设备研发制备领先技术实力，且在防止氢爆危害处理方面具有实际经验，可以在规定工期完成委托方委托任务。目前只有此公司有能力同时满足以上三方面的要求。经综合考虑价格与性能，拟采用单一来源的方式。拟采用北京北方华创磁电科技有限公司为该系统单一来源承揽方及供应方。

供应商：北京北方华创磁电科技有限公司

联系人：王昕尧

联系方式：13671754000

五、公示期：从2019年03月07日至2019年03月14日17时止

如有其他潜在供应商对本项目采用单一来源方式采购有异议，应在公示期内以书面形式以实名（盖单位公章，包括联系人、地址、联系电话）将意见反馈至武汉大学采购与招投标管理中心。

项目主办人：许老师027-68754516

武汉大学采购与招投标管理中心

2019年03月07日