中标
电子科技大学-竞价结果详情(CB106142019000229)
金额
24.8万元
项目地址
四川省
发布时间
2019/11/28
公告摘要
公告正文
电子科技大学 - 竞价结果详情 （CB106142019000229）
发布时间： 2019-11-20 22:22
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | SG2019008540001紫外单面光刻机 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 电子设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2019-11-20 22:22 |
| 竞价结束时间： | 2019-11-23 22:31 竞价已结束 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 中国科学院光电技术研究所光学元件厂 | SG2019008540001紫外单面光刻机 | 1 | 中国科学院光电技术研究所 | URE-2000B 型光刻机 | 按行业标准提供服务 | 技术参数 ？ 曝光面积：100mmX100mm ？ 曝光波长：365nm ？ 分辨力：0.8um（胶厚2um 的正胶） ？ 对准精度：正负0.6um ？ 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm ？ 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸 ？ 样片尺寸：直径15mm-- 100mm（各种不规则片） 厚度0.1mm--6mm（可扩展为15mm） ？ 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量 ？ 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能 ？ 照明不均匀性： 2.5％（100mm 范围） ？ 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400 倍， 光学+电子放大800 倍 物镜3 对：4 倍、10 倍、20 倍； 目镜3 对：10 倍、16 倍、20 倍 ？ 调平接触压力通过传感器保证重复 ？ 数字设定对准间隙和曝光间隙 ？ 具备压印模块接口，也具备接近模块接口 ？ 最大焦厚：600um ？ 光源平行度：1.2o ？ 曝光能量密度：＞20mW/cm2 ？ 汞灯功率：1000W（直流，进口） | 248000.0 |
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