一、基本信息

竞价编号：JJ23070412000945
项目名称：华电院采购等离子增强管式炉
项目预算(元)：136,000.00	报价方式： 总价报价
采购单位：华南师范大学	联系人：采购用户
最少报价家数：3	联系电话：020-39314813
联系手机：无	电子邮箱：410749201@qq.com
异议反馈：020-37619972；jycg001@qq.com
开始时间：2023-07-04 12:05:36	截止时间：2023-07-07 12:05:00

二、资格条件

资格条件：原厂或原厂授权。

三、商务要求

付款方式：到货验收合格付全款。

交付时间： 签订合同后30天送货。

交付地址： 广东省广州市番禺区华南师范大学大学城校区理5栋。

质保期及售后要求：按出厂厂家售后标准进行服务。

其他要求：无

四、技术要求

序号	标的名称	数量	单位	品牌	是否限定品牌	技术要求
1	等离子增强管式炉	1.00	台	上海微行/PECVD1200-60	是	1、主机技术指标： [1] 石英管尺寸 L≥1500 mm Φ≤60 mm[2] 加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝[3] 测温元件 N型热电偶[4] 加热区长度 440≤ mm[5] 恒温区长度 200 ≥mm[6] 工作温度 ≤1100 ℃[7] 控温模式 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能[8] 控温精度 ≤±1 ℃[9] 升温速率 ≤20 ℃/min[10] 电功率 ≤3.5 KW 2、附件技术指标： [1] 标准量程 ≥50 sccm（CH4）、≥200 sccm（H2）、≥500 sccm（Ar、N2）；[2] 压力表测量范围 -0.1 Mpa～0.15 Mpa[3] 响应时间特性：≤1～4 Sec[4] 抽气速率 ≥4 L\s[5] 极限真空 ≤6×10-1 Pa[6] 实验真空度 ≤6.0×10-1 Pa[7] 容油量 ≤1.1 L[8] 射频电源≥3 W-300 W [9] 射频输出接口 ≥50 Ω, N-type, female