项目名称：磁控溅射仪（镀膜仪）采购
项目编号：JJ20233452
公告开始日期：2023-11-01 08:54:59
公告截止日期：2023-11-06 10:00:00
采购单位：重庆大学
预算总价：未公布
收货地址：重庆大学A区微系统中心

采购商品：磁控溅射仪（镀膜仪）
采购数量：1
计量单位：台
品牌：速普仪器
型号：ISC150T
技术参数及配置要求：设备参数及配置：
1.真空泵组：进口品牌无油隔膜泵+分子泵组
2.泵组抽速：隔膜泵抽速≥0.7 m3/h ；分子泵抽速≥60 L/S
3. 极限真空：≤10E-3 Pa
4.工作气压： 0.5-2 Pa
5.抽真空时间：≤5min
6.真空测量：大气压到10E-3 Pa，进口品牌皮拉尼真空计
7. 气体控制：MFC气体质量流量控制器（50SCCM Ar）
8. 样品腔室尺寸：φ150*120mm；耐划伤石英玻璃
9. 磁控溅射源：靶材尺寸φ50*0.1-3mm（建议厚度＞0.2mm）/带手动挡板；可溅射贵金属Au、Pt、Pd等，也可以溅射Cr、W、Ag、C等材料（通Ar气）
10. 溅射电源：恒功率磁控DC溅射电源，Max. 30W， Max. 100mA
11.溅射时间：可程序设定
12.操作方式：触摸屏控制
13.重量尺寸：30 Kg； 500 mm宽*400 mm深*470 mm高
14.电源：110-220V AC，50/60Hz 接地三脚插头
15.功耗：＜500W
16.冷却方式：风冷
17. 可升级附件：加装旋转翻折样品台和真空等离子清洗模块详情请访问原网页！