一．采购人名称：
之江实验室
二．单一来源编号：
ZJLAB-JZ-DY2022090
三．采购项目名称：
800G光接收端多项目晶圆有源流片服务
四．采购项目概况：
序号：1
项目名称：800G光接收端多项目晶圆有源流片服务
数量：1
单位：项
预算金额： 90万元人民币
简要规格描述：
标准无源工艺：
含70nm、60nm、90nm三次硅刻蚀工艺；制作TiN热电极
标准有源工艺：
6种硅波导掺杂工艺、金属电极工艺、高速Ge/Si探测器工艺
提供高性能PDK：
可提供稳定、损耗较低的PDK:
SSC：在O波段损耗＜2dB；
高速锗硅探测器：带宽＞26 GHz，响应度＞0.8 A/W
五．拟采用的采购方式：
单一来源采购方式
六．申请理由：
800G硅基光接收集成芯片课题目前已经完成全部所需器件以及接收端集成芯片的设计仿真，并完成部分器件的EBL仿CMOS工艺试制与测试，一次标准CMOS工艺流片以及两次标准CMOS工艺的多项目晶圆（MPW）流片与测试。依据测试结果，集成设计方案存在迭代更新。标准CMOS工艺流片所需时间通常在半年左右，且可能会因疫情延期，为保证项目任务如期进行，需要在2022年进行多次流片。本次流片投出时间为12月。
此次MPW流片用于验证光接收端硅基集成方案，根据器件设计需求，流片工艺需要包含标准硅基有源工艺，并提供性能较好的PDK器件。由于所设计集成芯片面积较大，单个区块面积不足以放置完整集成版图，为器件测试需购置多项目圆晶上的两块区域。
七．拟定供应商：
1、拟定供应商名称
Advanced Micro Foundry Pte Ltd (AMF)
2、拟定供应商地址
11 Science Park Road Science Park 2 Singapore 117685
八．论证专业人员信息及意见：
专业人员姓名：樊中朝
专业人员工作单位：中科院半导体研究所
专业人员职称：研究员
专业人员姓名：李志华
专业人员工作单位：中国科学院微电子研究所
专业人员职称：研究员
专业人员姓名：程秀兰
专业人员工作单位：上海交通大学
专业人员职称：研究员
具体论证意见：
根据“800G光接收端芯片”项目需求，需采购满足140nm线宽线距的硅基有源/无源器件工艺及PDK的流片服务。 项目组调研了IMEC、AMF、CompoundTek、CUMEC等四家国内外主流的硅光MPW流片服务公司。其中未在IMEC进行前期流片，其性能未得到数据验证。此外，CompoundTek线距不满足140nm需求，CUMEC现有PDK无法提供双层金属工艺，其探测器带宽小于28GHz，无法满足项目需求。 本项目前期已在AMF进行过完整的有源/无源器件的MPW流片与测试，有源工艺达到项目指标。提供的工艺满足本项目140nm线宽/线距定制工艺和双层金属工艺，系统插损≤14dB，密集波分复用器件精度达到项目需求，Ge探测器带宽≥28GHz。 综上，AMF是本项目目前唯一符合需求的供应商。
注：AMF公司在国内没有代理商，直接从厂商进口采购。
经专家组讨论，一致认为本次申请理由充分、合理，同意采用单一来源采购。
九．其它事项：
本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人提出异议。
十．联系方式
采购人名称：之江实验室
联系人：柳老师
联系电话：0571-56393505
地址：浙江省杭州市文一西路1818号之江实验室
 
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