采购项目名称：原子层沉积系统
采购项目编号：清采比选20241535号
对外联系人：本项目不接受咨询
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采购单位：清华大学
物资名称：原子层沉积系统
采购数量：1
计量单位：台
单价：￥320000
技术参数及配置要求：需要厂家提供完整的设备技术方案、详细的设备配置参数和技术参数，包括但不限于以下各项： 设备主机占地不超过0.6 m×0.8 m×1m（不含维护空间） ALD阀：要求在系统集成结构的表面安装ALD阀，出现故障时不需要拆除其他任何部件即可将阀门拆卸下来用盲板替代，不影响设备正常使用。 前驱体加热源：要求2路加热前驱体源，加热源加热温度范围为室温到200℃可控，前驱体源应至少预留六路接口以及微波等离子体源的接口，不用返厂场即可升级。 反应腔：要求每循环均实现双面均匀镀膜，涂覆面积不小于6英寸，厚度不小于6mm的样品。 密封圈：要求采用氮气保护的双 O-Ring 高温密封系统，隔绝其他气体渗漏。 前驱体管路：要求全部采用316L不锈钢EP级集成管路，所有管路加热温度范围为室温到150℃可控。 基底加热温度：要求温度范围为室温到400℃可控 范围真空规：要求测量范围覆盖2x10-4到10+3torr。 高浓度臭氧发生器：要求包括管路，裂解器附件，最高产量大于15g/h，功率0~300W可调。
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