项目编号： 项目地区：山西省
发布时间：2022-06-27 截止时间：
采购商：太原理工大学

项目名称	磁控溅射镀膜机采购	项目编号	WUST-JJXM-20220048
项目编号	WUST-JJXM-20220048
公告发布日期	2022/06/27 10:26	公告截止日期	2022/06/30 10:26
公告截止日期	2022/06/30 10:26
采购单位	武汉科技大学	付款条款	货到验收合格后一次性支付全款
付款条款	货到验收合格后一次性支付全款
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系手机	中标后在我参与的项目中查看
联系手机	中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务	否	是否需要踏勘	否
是否需要踏勘	否
踏勘联系人		踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点		踏勘联系时间
踏勘联系时间
采购预算	￥193,000.00
送货/施工/服务期限	合同生效之日起20日内
送货/施工/服务地址	武汉市青山区武汉科技大学信息科学与工程学院

   采购清单
1

采购内容		是否进口	计量单位	采购数量	售后服务
磁控溅射镀膜机		否	1	1	1.1、在设备到达目的地后，投标人派工程师到用户处免费进行设备的安装、调试。 1.2.1、负责镀膜系统的现场安装和调试； 1.2.2、提供设备的操作培训； 1.2.3、提供设备的常见问题处理培训； 1.2.4、提供有关镀膜工艺培训，有专业的镀膜工艺人员现场提供培训，并提供设备试机时的金属靶材。 2.1保修：合同设备安装后，设备保修期为验收合格后1年。 2.2合同设备出现故障时，投标人确保及时维修，并确保在接到用户方服务要求的2小时内作出回应。 电话指导不能排除的故障，工程师可在1个工作日内到现场进行维修服务，仅收取材料成本费。
参考品牌及型号	不限定品牌型号
技术参数要求	1.真空系统及溅射真空室组件 1.1 真空系统：8L机械泵+KYKY FF-160/620C分子泵,配备超高真空主阀+全自动节流阀； 1.2真空室尺寸约300 mm ×300 mm× 350 mm，U型结构，正面开门结构，可烘烤100 ~ 150 度，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封； 真空室组件上焊有各种规格的法兰。 2、磁控溅射靶组件至少2套2.1、靶材尺寸：2英寸； 2.2、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷；2.3、气动控制挡板组件：3套； 2.4、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染； 2.5、倾斜向上溅射时，靶与样品距离60 ~ 130 mm可调并有调位距离指示。当直接向上溅射时，靶与样品距离40 ~ 80 mm可调，并有调位距离指示。 3、单基片加热旋转台，基片通过加热丝加热方式，由热电偶闭环反馈控制，可控可调，精度±1 oC；温度均匀性在衬底上的偏差约≤ 2%； 4、窗口及法兰接口部件4.1、直径大于100玻璃窗口：1块；4.2、陶瓷封接引线法兰：1个（内烘烤引线）； 5、工作气路（溅射室） 5.1、100 SCCM、50 SCCM质量流量控制器、进气截止阀、混气室、管路等： 6、离子源 配备一套离子源，用于辅助溅射。 7、安装机台架组件型材框架，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动； 8、真空测量及电控系统8.1、电源机柜：2台（含供电电源，有断电保护功能）； 8.2、控制电源：1台（为机械泵、电磁阀、升降电机等提供电源）； 8.3、冷却水循环系统，制冷功率大于1P； 水流报警系统：2套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断电源等相应功能）； 8.4、溅射室样品加热控温电源：1套（日本产控温表，可实现程序控温）； 8.5、电机控制电源：1套； 8.6、靶挡板电源：2套； 8.7、加热烘烤及照明电源：1套； 8.8、宽量程数显真空计：2套；测量范围：1.0 × 105 Pa ~ 1.0 × 10-5 Pa。 8.9、100 SCCM、50 SCCM质量流量控制器：2套； 8.10、分子泵控制电源：1套； 8.11、500 W射频电源：1套（配自动匹配器）； 8.12、500 W直流电源：1套； 9、控制系统配备触摸屏自动控制，可实现全自动镀膜，提供ITO、AZO、氧化镍、氮化钛镀膜工艺；

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