采购结果详细（202301300166）---- 深圳清华大学研究院

申购单主题：	高真空电阻蒸发镀膜机	申购单位：	深圳超滑技术研究所
申购备注：

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
高真空电阻蒸发镀膜机	泰科诺	ZHD300	1	国内含税价/人民币
规格	高真空电阻蒸发镀膜机（型号：ZHD300） ※1、真空腔室：≥ф300×H360mm，304优质不锈钢真空腔室； 2、真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真阀门高真空系统，数显复合真空计； ※3、真空极限（空载）：8.0×10-5Pa； 4、漏率：≤0.8Pa/h； 5、抽速：（空载）从大气抽至5.0×10-3Pa≤13min； 6、基片台尺寸：最大可镀基片尺寸/面积：Φ100mm范围内可装卡各种规格基片； 7、基片台加热及旋转速度：0-20 转/分钟； ※8、蒸发源及电源：2对水冷式蒸发电极；1台3kw金属蒸发电源； ※9、晶振探头安装在靠近基片台附近，用以实时监测镀膜速率和终厚，精度可达±1Å（0.1nm）；具备与电源联锁控制功能，若镀膜达到设置厚度，可自动切断电源，停止镀膜，实现自控膜厚之目的。 10、膜厚不均匀性：≤±5%（基片台Φ80mm 范围内）； 11、控制方式：PLC+触摸屏控制方式，提供制造商工业自动化控制系统软件著作权证书； 12、报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 ※13、辅助设备：冷却循环水机1台； 14、安装调试：设备厂家必须提供相应低维材料制备工艺参数。 15、商务要求：代理商必须需提供生产厂家授权书。 附件下载
中标供应商			单价		初选理由
北京泰科诺科技有限公司			110000		最低价原则