1.项目名称：MEMS月震计电镀工艺与测试
2.成交供应商名称：黄冈师范学院
3.成交供应商地址：湖北省黄冈市开发区新港二路
4.成交金额(币种)：17.800万元
5.付款方式：合同签订后预付合同金额的30%，验收合格后付合同金额70%尾款
6.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
1	MEMS晶圆RCA清洗及缺陷检测	合同签订三个月之内
2	MEMS晶圆匀胶曝光显影	合同签订三个月之内
3	MEMS晶圆金属种子层镀膜	合同签订三个月之内
4	MEMS晶圆电镀金-5um厚	合同签订三个月之内
5	MEMS晶圆刻蚀金属图形	合同签订三个月之内
6	MEMS晶圆图形光学及电气检测	合同签订三个月之内

                                                                       
 
华中科技大学物理学院
2024年07月09日