东南大学 - 竞价公告 (CB102862024000909)
发布时间：2024-06-25 15:50:29 截止时间：2024-06-28 09:00:00
基本信息：
申购主题：热蒸发镀膜仪
报价要求：国产含税
发票类型：数电发票（普通发票）
付款方式：预付30%，货到验收合格后付清70%尾款。
送货时间：合同签订后60天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：江苏省/南京市/江宁区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号		数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

热蒸发镀膜仪

1/台

光拓科技

GT400-S6

1. 支撑机架 1．1采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动；1．2机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定住设备。 2. 样品台 2．1样品架夹具最大可以容纳1个装载有135mm*135mm基片的基片托盘 2．2基片盘可旋转，旋转速度0-30转/分可调； 2．3提供一套掩膜板，图案根据用户要求设计，基片与掩膜板的配合间隙小于0.1mm。 2．4样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性； 3. 蒸发源 3．1 共6组蒸发源，6组蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板。 *3．2蒸发电源功率1.4KW以上,用于蒸发金属和有机，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。 4. 膜厚测量系统 4．1 采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度； 4．2 膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度±0.015A；频率分辨率0.012HZ，频率稳定性±2ppm（0-50度)，测量周期0.1-1秒可调。带有WINDOWS操作软件，可以PC机上操作，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。 4．3 石英晶振水冷探头2个， 6MHZ，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用UBQD密封结构。 *4. 4膜厚均匀性，≤5%， 软件操作：满足系统正常操作需求，包括自动抽真空，单层自动蒸镀，以及手动控 制各个部件。 5. 蒸发腔体 5．1 腔本由SUS304制作，其内部尺寸约为400mm*400mm*560mm； 5．2 腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理； *5．3 腔体漏率：整体漏率优于5X10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于5Pa; 7. 蒸镀软件控制系统 7．1采用PLC，触摸屏或工控机控制； 7．2真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭。 带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温，降温，也可手动输入控制数据。 *7．3可实现一键全自动蒸镀（自动真空，自动蒸镀，开关挡板，自动膜厚清零等自动操作）。

按行业标准提供服务