中标
微纳电子PVD薄膜沉积系统（AHU-XNJJ20210643）成交结果公告
金额
38万元
项目地址
安徽省
发布时间
2021/12/01
公告摘要
公告正文
| 成交供应商： | 合肥石易信息技术有限公司 |
|---|
| 成交金额： | 380000.0 |
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| 选标理由： | 符合要求，价格最低 |
|---|
微纳电子PVD薄膜沉积系统（AHU-XNJJ20210643）成交结果公告
| 项目名称 | 微纳电子PVD薄膜沉积系统 | 项目编号 | AHU-XNJJ20210643 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2021-12-01 | 公告截止日期 | |
| 采购单位 | 安徽大学 | 付款方式 | 货到验收付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 预算 | 460000.0 | ||
| 收货地址 | 安徽省合肥市蜀山区九龙路111号安徽大学协同创新D楼 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| PVD薄膜沉积系统 | 1 | 套 |
| 品牌 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 技术参数及配置要求 | 一、技术参数： 真空腔室 1）真空腔室、连接管道和所有法兰均采用优选的SUS304不锈钢，材料致密放气量小； 2）真空腔室为D型圆筒形，尺寸：Φ450×H450mm； 3）前开门结构，门孔大小：400mm×360mm 4）前门材料：6061铝 5）前门带观察窗，可视直径为80mm，带有观察窗。 6）锁门方式：手动，上下2个杠杆把手 7）右后侧连接抽气接口，管道直径DN150mm，抽气口带粗过滤防止大物掉落。 8）底部为4个功能模块接口，采用赛威科标准法兰SWS140。 9）顶部为基片台模块接口。大小ISO250 10）腔体内部安装加热板，对腔体可以进行烘烤，最高加热温度150度。 11）腔体带一个DN30的观察窗，并在外安装LED灯，用于腔体照明 加工工艺与技术指标： 12）采用本公司高真空腔室焊接，清洗工艺，采用进口真空系统氦质谱检漏仪全程跟踪检漏，腔体漏率：小于1.0×10-10Pa/m3/s； 13）内外表面电解抛光处理。 抽气系统 1）真空机组采用复合分子泵配合直联旋片泵作为真空抽气系统； 2）KYKY分子泵：对氮气抽速大于600L/s； 3） 机械泵：抽速：4L/s； 4）极限真空：小于6.7E-5Pa 5）恢复真空速度：用氮气破空，从大气至6.7E-4Pa时间小于40分钟 6）采用带预抽管路的真空抽气系统。 7）前级阀和预抽阀采用KF40气动角阀 8）主阀采用DN160口径的气动插板阀。 9）对于磁控溅射系统，安装一个节流挡板，从而可以降低工艺气体流量，有利于稳定工艺气压。 真空测量 1）采用国产复合真空计，测量范围从大气开始，到1.0E-5Pa。 2）对于磁控溅射系统，建议增加一个进口薄膜电容真空计，满量程1Torr。 样品台 1）可装载最大6英寸样品（样品盘直径150mm，方片尺寸100*100mm） 2）可以根据客户样品形状和大小定制样品托（不超过上述尺寸）； 3）样品台旋转：转速0-25rpm连续可调； 4）样品台可升降，通过步进电机精确控制升降距离。最大行程10cm 5）样品台可加热，最高温度400度，温度控制精度±0.5度，可设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±5℃。 6）带电动挡板。 溅射单元 1） 磁控阴极模块化安装，采用赛威科标准法兰SWS140，可与其他法兰简单替换，便于后期更换维护。 2） 安装4组3英寸磁控阴极，1组强磁，3组永磁； 3） 靶角度可调，并带电动挡板。 4）靶材大小为直径76.2mm，建议厚度≤5mm。 5）磁控阴极必须通水冷却。 6）靶材利用率超过40% 7）阴极兼容直流电源和射频电源输入。 8）配置2台直流电源，1台射频电源。 9）1000W直流溅射电源或直流脉冲电源，可以切换使用 10）300W射频电源，带自动匹配器。不可以切换使用。 11）配置两路工艺气体，一路Ar，一路O2，采用气体流量计控制。带混气室。 12）Ar流量200sccm，O2流量100sccm 控制系统 控制系统采用触摸屏连接PLC控制:。 触摸屏大小：15寸电阻屏 触摸屏控制内容： 1）机械泵，分子泵，前级阀，放气阀，预抽阀，充气阀的开关，并在控制界面有状态显示。 2）完备的互锁系统，包括预抽阀与前级阀的互锁；放气阀与插板阀的互锁；气压到大气以后自动关闭放气阀。 3）所有的温度显示，包括基片加热温度，腔体加热温度，并可以设置加热斜率，并在触摸屏上显示加热曲线。 4）可以显示抽气曲线，并显示抽气时间。 5）可以控制各个挡板，并在控制界面有状态显示 6）可以在报价界面显示各类报警。 目前设置的报警内容包括： 各个部件的水压报警；气压报警；腔体门位置报警；分子泵过流过热报警；膜厚仪探头报警等。报警作用是会有声光显示。 1） 急停为物理按钮，按下可关闭插板阀，分子泵，以及关闭所有电源。 可以实现自动抽真空，自动停机功能。工艺部分手动操作 二、报价要求 1、供应商报价时从推荐3个品牌上海奥铭真空科技有限有限公司、杭州大华和赛威科光电中选择1个进行报价，报价时在竞价网品牌栏目注明所报品牌型号，不注明或者注明其他品牌型号的为无效报价。 2、供应商须完全响应技术参数要求。 三、质保要求： 1、原厂质保一年，须提供供应商所报品牌原厂质保承诺函。 2、成交供应商在网上竞价确认后1个工作日内提供所报品牌原厂质保承诺函原件，如成交供应商没有按时提供所报品牌原厂质保承诺函原件则取消其成交资格，由排序第二的有效供应商顺延。 四、供货时间： 本项目须在2021年12月10日前完成送货安装调试工作。 五、付款方式：项目完成验收合格付款。 六、质疑与答复： 供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《安徽大学非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求（请自行在安徽大学采购与招标信息网站查询下载），在网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱：441924448@qq.com 。安徽大学国有资产与实验室管理处（采购管理中心）联系电话：63861033，联系人：袁老师。逾期不予受理。 七、特别提醒： 1.供应商须符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件，如分公司投标须有总公司授权并将授权书上传竞价网，否则报价无效。 2.根据政府采购法律法规，单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同一竞价项目，学校将有权视情节轻重禁止其自处罚之日起1-3年内参加学校各类非政府采购活动并同期从安徽大学供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 3.供应商如有以下任一行为，除承担违约责任外，学校有权视违规情节轻重禁止其自处罚之日起 1-3 年内参加学校各类非政府采购项目资格并同期从安徽大学供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 （1）提供虚假材料谋取中标（成交）或虚假供货的； （2）中标（成交）后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的； （3）不按竞价要求或合同约定履约的； （4）其他违反法律法规和采购规定的。 |
| 售后服务 | 公司中标后送货上门，负责安装调试；本台设备要求供应商具有本地化服务能力，本地化服务的能力是指具有以下条件之一：1）在本地注册成立的；2）在本地具有分支机构（含分公司、办事处、售后服务机构等），具有固定的办公场所及人员。备注：“本地”系指：合肥市; |
公告来源：
https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/12/01/20KWMZHJF2JYY99Y.shtml
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