中标
西南交通大学-竞价结果详情(CB106132018000252) —— 电子束真空镀膜机
金额
30万元
项目地址
四川省
发布时间
2018/09/20
公告摘要
公告正文
西南交通大学 - 竞价结果详情 （CB106132018000252）
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 电子束真空镀膜机 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 04.机电设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-09-19 10:22 |
| 竞价结束时间： | 2018-09-22 10:48 竞价已结束 |
| 申购备注： | 采购管理平台中审批通过后的项目编号:4358 采购管理平台采购内容通过编号：4593 经费人：刘庆想 |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 成都兴南科技有限责任公司 | 电子束真空镀膜机 | 1 | 兴南科技 | ZZS630型 | 1、按行业标准提供服务； 2、是否要求本地有售后服务网点：（A.是） A.是 B.否 “本地”指采购单位所在省级行政区域；有售后服务网点的证明材料包括：参与竞价公司营业执照，当地某公司营业执照以及该当地公司与参与竞价公司之间签订的有效合作协议。本地供应商无需上传证明文件；外地供应商需上传当地服务网点证明文件压缩包。 3、保修期在甲方场地调试合格后，为期一年。 4、售后服务，设备出现问题，乙方在24小时内给与答复，48小时内维修人员到达现场。 | 本设备需在原型号设备进行改装，具体参数如下： 两只兴南科技新型XNE-10KW电子枪，交替工作/共蒸发工作，两只电子枪均为四穴坩埚。配两套灯丝电源，两套可编程扫描电源，一套10KW高压自动灭弧电源，两只灯丝变压器。配备石英膜厚控制仪。 极限真空：8.0×10-5 Pa，工作真空：常温下大气→5×10-4 Pa≤2~3小时，镀膜过程中可维持真空在8×10-4 Pa左右 鲍斯BSV90直联泵一台+世纪久泰F-400分子泵一台 F-400分子泵：抽速3600L/S； BSV90直联泵：抽速25L/S。 升压率：1小时内＜5×10-1 PaL。 采用磁流体无油密封传动，基片盘尺寸为4英寸，位于电子枪上方。基片盘可自转，转动速度0~30rpm/min可调。基片盘可电动调节倾斜角度，倾角0~90°可调，控制精度为1°，可显示倾角数值。基片盘有冷却管路，可通水或液氮。 采用一套上海膜林MXC-3B石英膜厚控制仪作为系统的主控设备，配置INFICON原装单探头。 采用MCGS10.2英寸触摸屏，具有良好的人机界面与操作功能，与晶控配合可实现镀膜过程自动化。安全连锁的操作系统，保证生产过程的可靠性和重复性。系统分为手动/自动两种控制方式。手动主要用于设备检修和维护。 | 300000.0 | 单项低价原则 |
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